遮光罩杂光抑制性能仿真分析及优化设计
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 遮光罩杂光抑制理论分析 | 第16-32页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 遮光罩杂光抑制方法 | 第16-19页 |
| 2.2.1 杂光产生机理 | 第16-18页 |
| 2.2.2 杂光抑制机理 | 第18-19页 |
| 2.3 遮光罩杂光抑制材质散射特性测量及数据处理 | 第19-24页 |
| 2.3.1 BRDF概念 | 第19-20页 |
| 2.3.2 BRDF测量方案 | 第20-22页 |
| 2.3.3 BRDF测量数据处理 | 第22-24页 |
| 2.4 遮光罩杂光抑制结构设计 | 第24-31页 |
| 2.4.1 圆柱型遮光罩挡光环等高分布设计 | 第25-26页 |
| 2.4.2 圆柱型遮光罩挡光环梯度布置设计 | 第26-28页 |
| 2.4.3 锥型遮光罩挡光环等高布置设计 | 第28-30页 |
| 2.4.4 锥型遮光罩挡光环梯度布置设计 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 遮光罩杂光抑制性能仿真及实验验证 | 第32-52页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 杂光抑制性能评价指标构建 | 第32-33页 |
| 3.2.1 消光比 | 第32页 |
| 3.2.2 能量集中度 | 第32-33页 |
| 3.2.3 平均能量密度 | 第33页 |
| 3.3 遮光罩杂光抑制性能仿真 | 第33-45页 |
| 3.3.1 仿真输入条件 | 第33-35页 |
| 3.3.2 仿真实验结果 | 第35-45页 |
| 3.4 遮光罩杂光抑制性能验证 | 第45-51页 |
| 3.4.1 地面测量实验 | 第45-49页 |
| 3.4.2 结果对比分析 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 基于神经网络的遮光罩优化设计 | 第52-64页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 遮光罩性能预测模型 | 第52-60页 |
| 4.2.1 样本空间构建 | 第52-55页 |
| 4.2.2 预测模型建立 | 第55-60页 |
| 4.3 遮光罩优化设计 | 第60-63页 |
| 4.3.1 优化设计需求 | 第60-61页 |
| 4.3.2 优化设计方案 | 第61-62页 |
| 4.3.3 优化设计结果 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
