光机组件在线维护装置的设计及其洁净状态研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 选题背景及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第10-14页 |
| 1.2.1 光机组件在线维护的国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 洁净控制技术的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 国内外研究现状综述 | 第13-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 晶体在线维护装置的设计与分析 | 第15-25页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 晶体在线维护装置的设计 | 第15-17页 |
| 2.3 洁净箱的参数化优化设计 | 第17-22页 |
| 2.3.1 洁净箱优化设计的数学模型 | 第17-19页 |
| 2.3.2 基于有限元分析的洁净箱优化设计 | 第19-20页 |
| 2.3.3 洁净箱的结构优化设计结果 | 第20-21页 |
| 2.3.4 优化后模型的有限元分析 | 第21-22页 |
| 2.4 支撑架的有限元静力分析 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 洁净箱气相流场的仿真研究 | 第25-38页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 气相流场数值模拟的理论基础 | 第25-28页 |
| 3.2.1 连续相控制方程 | 第25-27页 |
| 3.2.2 湍流模型 | 第27-28页 |
| 3.2.3 计算区域与控制方程的离散化 | 第28页 |
| 3.3 仿真模型的建立及参数设置 | 第28-32页 |
| 3.3.1 洁净箱流体动力学建模流程 | 第28-29页 |
| 3.3.2 几何模型的建立 | 第29-31页 |
| 3.3.3 控制参数的设置 | 第31-32页 |
| 3.4 连续相仿真结果分析 | 第32-36页 |
| 3.4.1 流场的速度分布 | 第32-34页 |
| 3.4.2 正压密封效果的分析 | 第34-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 洁净箱气固两相流的仿真研究 | 第38-52页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 颗粒相数值模拟的基础理论 | 第38-41页 |
| 4.2.1 欧拉-拉格朗日模型 | 第38-39页 |
| 4.2.2 颗粒相受力分析 | 第39-40页 |
| 4.2.3 颗粒相控制方程 | 第40-41页 |
| 4.3 颗粒相控制参数的设置 | 第41-43页 |
| 4.3.1 颗粒相边界条件 | 第41-42页 |
| 4.3.2 颗粒运动轨道的计算 | 第42-43页 |
| 4.4 洁净箱洁净状态的分析 | 第43-51页 |
| 4.4.1 进气量对洁净箱洁净状态的影响 | 第44-46页 |
| 4.4.2 颗粒物直径对洁净箱洁净状态的影响 | 第46页 |
| 4.4.3 安装顺序对洁净箱洁净状态的影响 | 第46-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 洁净箱洁净状态的实验研究 | 第52-58页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验方案与设备 | 第52-53页 |
| 5.3 洁净箱流速的检测及分析 | 第53-55页 |
| 5.4 洁净箱洁净状态的检测与分析 | 第55-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
