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基于双金属纳米颗粒悬浮栅极的有机场效应晶体管非易失性存储器研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-22页
    1.1 有机场效应晶体管非易失性存储器概述第10-11页
    1.2 有机场效应晶体管非易失性存储器的基本概念第11-17页
        1.2.1 有机场效应晶体管非易失性存储器的基本结构第11-12页
        1.2.2 有机场效应晶体管非易失性存储器的工作原理第12-13页
        1.2.3 有机场效应晶体管非易失性存储器的基本参数第13-17页
    1.3 纳米颗粒悬浮栅极有机场效应晶体管非易失性存储器第17-20页
        1.3.1 纳米颗粒悬浮栅极非易失性存储器的基本结构及工作原理第17-19页
        1.3.2 纳米颗粒悬浮栅极的常见制备方法第19-20页
    1.4 有机场效应晶体管非易失性存储器的应用前景第20页
    1.5 本论文的研究意义和主要内容第20-21页
        1.5.1 研究意义第20-21页
        1.5.2 主要内容第21页
    1.6 本章小结第21-22页
第2章 实验设备、实验材料及实验流程第22-34页
    2.1 实验设备第22-26页
    2.2 实验材料第26-28页
    2.3 有机场效应晶体管非易失性存储器的制备流程第28-32页
        2.3.1 器件衬底的切割与清洗第28-29页
        2.3.2 悬浮栅极的制备第29-30页
        2.3.3 聚苯乙烯隧穿绝缘层的制备第30-31页
        2.3.4 并五苯有机薄膜的制备第31页
        2.3.5 铜电极的制备第31页
        2.3.6 器件测试前的准备工作第31-32页
    2.4 有机场效应晶体管非易失性存储器的电学性能测试第32-33页
    2.5 本章小结第33-34页
第3章 银、铂单金属纳米颗粒悬浮栅极存储器第34-51页
    3.1 研究背景第34-41页
    3.2 器件结构第41-42页
    3.3 银、铂单金属纳米颗粒悬浮栅极的表征第42-43页
    3.4 聚苯乙烯隧穿绝缘层的表征第43-44页
    3.5 器件的电学性能测试和分析第44-47页
    3.6 器件存储行为差异的物理机制解释第47-50页
    3.7 本章小结第50-51页
第4章 银-铂双金属纳米颗粒悬浮栅极存储器第51-65页
    4.1 研究背景第51-53页
    4.2 器件结构第53-54页
    4.3 银-铂双金属纳米颗粒悬浮栅极的表征第54-56页
    4.4 聚苯乙烯隧穿绝缘层的表征第56-57页
    4.5 器件的电学性能测试和分析第57-60页
    4.6 存储增益效应的物理机制解释第60-64页
    4.7 本章小结第64-65页
第5章 全文总结第65-67页
参考文献第67-73页
攻读硕士学位期间本人公开发表的论文第73-74页
致谢第74页

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