绝对式光栅传感器关键技术的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 课题的背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外对于光栅尺的研究 | 第12-16页 |
| 1.3 课题的来源及研究途径 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 光栅传感器光电系统理论的建立 | 第18-27页 |
| 2.1 光栅位移传感器工作原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 光栅传感器的组成 | 第18-19页 |
| 2.1.2 光栅尺的分类及结构特点 | 第19-20页 |
| 2.2 莫尔条纹的选用 | 第20-24页 |
| 2.3 光栅传感器光电扫描技术 | 第24-27页 |
| 第3章 光栅传感器绝对编码技术 | 第27-32页 |
| 3.1 传统的绝对编码方式 | 第27-28页 |
| 3.2 复合多位元m序列伪随机码绝对编码方式 | 第28-30页 |
| 3.3 组合伪随机码的实际应用及特点 | 第30-32页 |
| 第4章 基于反正切函数的新型细分技术 | 第32-47页 |
| 4.1 莫尔条纹细分技术的工作原理 | 第32-33页 |
| 4.2 莫尔条纹细分方法的研究 | 第33-37页 |
| 4.2.1 传统的细分方法 | 第33-36页 |
| 4.2.2 国内出现的一些新型细分方法 | 第36-37页 |
| 4.3 基于正切函数的细分技术 | 第37-43页 |
| 4.3.1 细分技术的工作原理 | 第37-38页 |
| 4.3.2 基于正切函数的细分信号处理 | 第38-43页 |
| 4.4 误差补偿技术 | 第43-47页 |
| 4.4.1 误差形成的因素 | 第43-44页 |
| 4.4.2 信号采集误差修正 | 第44-45页 |
| 4.4.3 安装误差补偿 | 第45-47页 |
| 第5章 超精密气浮定位精度检测平台的设计 | 第47-59页 |
| 5.1 气体润滑技术 | 第47-48页 |
| 5.2 精度检测平台的结构设计 | 第48-52页 |
| 5.2.1 系统工作原理及检测过程 | 第48-49页 |
| 5.2.2 平台总体方案 | 第49页 |
| 5.2.3 系统零部件的设计安装 | 第49-52页 |
| 5.3 气源处理元件的选用 | 第52-54页 |
| 5.4 测量平台的误差与降低误差措施 | 第54-55页 |
| 5.5 气浮导轨测量平台性能测试 | 第55-59页 |
| 第6章 实验验证 | 第59-63页 |
| 6.1 绝对式光栅尺测量精度的实验验证 | 第59-61页 |
| 6.1.1 检测读数头分辨率 | 第59-60页 |
| 6.1.2 光栅测量系统的精度检测 | 第60-61页 |
| 6.2 绝对式光栅尺测量重复性的实验验证 | 第61-63页 |
| 结论和展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
