金属氧化物半导体对CO2的气敏性研究
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 符号说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 概述 | 第13页 |
| 1.2 二氧化碳气体简介 | 第13-14页 |
| 1.3 钙钛矿结构简介 | 第14-15页 |
| 1.4 气体传感器及CO_2气体传感器简介 | 第15-17页 |
| 1.5 半导体气体传感器的发展 | 第17-18页 |
| 1.6 金属氧化物半导体气敏机理 | 第18-21页 |
| 1.7 本论文选题及其研究意义 | 第21-23页 |
| 第二章 样品制备与测试 | 第23-29页 |
| 2.1 纳米粉体材料的制备 | 第23-25页 |
| 2.2 材料结构表征 | 第25-26页 |
| 2.3 测试方法 | 第26-27页 |
| 2.4 材料的气敏特性参数 | 第27-29页 |
| 第三章 HoFeO_3对CO_2的气敏特性研究 | 第29-39页 |
| 3.1 HoFeO_3纳米晶体的制备 | 第29-30页 |
| 3.2 HoFeO_3纳米粉体的表征和分析 | 第30-32页 |
| 3.3 气敏元件的测试方法与结果 | 第32-37页 |
| 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 GdFeO_3对CO_2的气敏特性研究 | 第39-47页 |
| 4.1 GdFeO_3纳米晶体的制备 | 第39页 |
| 4.2 GdFeO_3纳米粉体的表征和分析 | 第39-42页 |
| 4.3 气敏元件的测试方法与结果 | 第42-45页 |
| 本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 YFeO_3对CO_2的气敏特性研究 | 第47-55页 |
| 5.1 YFeO_3纳米晶体的制备 | 第47页 |
| 5.2 YFeO_3纳米粉体的表征和分析 | 第47-49页 |
| 5.3 气敏元件的测试方法与结果 | 第49-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附件 | 第64页 |
