| 中文摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 压电效应和声表面波 | 第10-12页 |
| 1.2 传感器技术面临的机遇和挑战 | 第12-13页 |
| 1.3 声表面波温度传感器研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本课题的研究意义 | 第14-15页 |
| 1.5 本课题的研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 声表面波温度传感器的设计 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 压电衬底的分析和选择 | 第16-26页 |
| 2.2.1 压电材料的声表面波速度分析和求解 | 第17-23页 |
| 2.2.2 压电材料的机电耦合系数分析和求解 | 第23-24页 |
| 2.2.3 压电材料的频率温度系数分析和拟合 | 第24-26页 |
| 2.2.4 压电衬底材料的选择 | 第26页 |
| 2.3 器件原型结构的分析和选择 | 第26-28页 |
| 2.4 叉指换能器结构的分析和选择 | 第28-31页 |
| 2.5 反射栅结构的分析和选择 | 第31-33页 |
| 第三章 声表面波温度传感器的制作 | 第33-42页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 工艺制作流程图 | 第33-34页 |
| 3.3 清洗工艺 | 第34页 |
| 3.4 光刻工艺 | 第34-40页 |
| 3.4.1 掩膜版的设计和制作 | 第34-37页 |
| 3.4.2 光刻胶和涂胶工艺 | 第37-39页 |
| 3.4.3 曝光和显影 | 第39-40页 |
| 3.5 金属化工艺 | 第40-41页 |
| 3.6 封装工艺 | 第41-42页 |
| 第四章 声表面波温度传感器的性能研究和优化 | 第42-55页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 测试平台及S参数 | 第42-45页 |
| 4.2.1 测试平台 | 第42-44页 |
| 4.2.2 S参数 | 第44-45页 |
| 4.3 测试结果以及相应的分析 | 第45-52页 |
| 4.3.1 变迹加权有无对器件性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.3.2 变迹加权设计中假指有无对器件性能的影响 | 第46-48页 |
| 4.3.3 变迹加权设计中不同加权系数对器件性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.3.4 反射栅结构对器件性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.5 金属栅条数目对器件性能的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.6 占空比对器件性能的影响 | 第51-52页 |
| 4.4 声表面波温度传感器的设计规律总结以及优化设计 | 第52-55页 |
| 4.4.1 声表面波器件设计规律总结 | 第52页 |
| 4.4.2 声表面波温度传感器优化设计及测试分析 | 第52-55页 |
| 第五章 总结和展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
