| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 硅基嵌入式变压器的背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 硅基嵌入式变压器的国内外研究历史与现状 | 第12-18页 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 | 第18-19页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第19-20页 |
| 第二章 硅基嵌入式变压器基础 | 第20-38页 |
| 2.1 硅基嵌入式变压器的理论设计基础 | 第20-35页 |
| 2.1.1 硅基嵌入式变压器的电磁学理论 | 第20-26页 |
| 2.1.2 硅基嵌入式变压器的电路模型 | 第26-29页 |
| 2.1.3 硅基嵌入式变压器的设计仿真 | 第29-35页 |
| 2.2 硅基嵌入式变压器的实验验证基础 | 第35-37页 |
| 2.2.1 硅基嵌入式变压器的通用工艺流程 | 第35-36页 |
| 2.2.2 硅基嵌入式变压器的器件特性测试平台 | 第36-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 改进的交缠型硅基嵌入式变压器 | 第38-49页 |
| 3.1 改进的交缠型硅基嵌入式变压器的器件结构 | 第38-39页 |
| 3.2 改进的交缠型硅基嵌入式变压器的器件设计 | 第39-42页 |
| 3.3 改进的交缠型硅基嵌入式变压器的工艺制造 | 第42-44页 |
| 3.4 改进的交缠型硅基嵌入式变压器的实验结果与分析 | 第44-48页 |
| 3.4.1 交缠型硅基嵌入式变压器的显微结构 | 第44-45页 |
| 3.4.2 交缠型硅基嵌入式变压器的性能与分析 | 第45-47页 |
| 3.4.3 交缠型硅基嵌入式变压器的性能横向比较 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 双面叠置型硅基嵌入式变压器 | 第49-62页 |
| 4.1 双面叠置型硅基嵌入式变压器的器件结构 | 第49-50页 |
| 4.2 双面叠置型硅基嵌入式变压器的器件设计 | 第50-55页 |
| 4.3 双面叠置型硅基嵌入式变压器的工艺制造 | 第55-57页 |
| 4.4 双面叠置型硅基嵌入式变压器的实验结果与分析 | 第57-61页 |
| 4.4.1 双面叠置型硅基嵌入式变压器的显微结构 | 第57-58页 |
| 4.4.2 双面叠置型硅基嵌入式变压器的性能与分析 | 第58-60页 |
| 4.4.3 双面叠置型硅基嵌入式变压器的性能横向比较 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器 | 第62-72页 |
| 5.1 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的器件结构 | 第62-63页 |
| 5.2 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的器件设计 | 第63-66页 |
| 5.3 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的工艺制造 | 第66-67页 |
| 5.4 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的实验结果与分析 | 第67-71页 |
| 5.4.1 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的显微结构 | 第67-68页 |
| 5.4.2 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的实验结果与分析 | 第68-70页 |
| 5.4.3 背靠背叠置型硅基嵌入式变压器的性能横向比较 | 第70-71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第78-79页 |
