| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 低温等离子体及在微电子工业中的应用 | 第8-10页 |
| 1.2 感性耦合等离子体源装置结构 | 第10-11页 |
| 1.3 感性耦合等离子体源研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3.1 感性耦合等离子体的发展 | 第11-12页 |
| 1.3.2 感性耦合等离子体的模拟研究 | 第12-13页 |
| 1.4 用于等离子体仿真的商业软件 | 第13-14页 |
| 1.5 本文的内容与安排 | 第14-16页 |
| 2 平面线圈感性耦合氩等离子体的流体力学模拟 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 流体力学模型 | 第16-18页 |
| 2.2.1 电子方程 | 第16-17页 |
| 2.2.2 离子方程 | 第17-18页 |
| 2.2.3 中性粒子方程 | 第18页 |
| 2.3 电磁模型 | 第18-19页 |
| 2.4 边界条件 | 第19-20页 |
| 2.5 数值算法 | 第20-22页 |
| 2.6 Ar等离子体的模拟结果 | 第22-27页 |
| 2.6.1 空间分布 | 第23-25页 |
| 2.6.2 气压对等离子体参数的影响 | 第25-26页 |
| 2.6.3 功率对等离子体参数的影响 | 第26-27页 |
| 2.7 本章小结 | 第27-29页 |
| 3 感性耦合Ar/O_2等离子体的流体力学模拟 | 第29-44页 |
| 3.1 引言 | 第29-30页 |
| 3.2 模型介绍 | 第30-33页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第33-42页 |
| 3.3.1 空间分布 | 第33-34页 |
| 3.3.2 功率对等离子体放电的影响 | 第34-37页 |
| 3.3.3 气压对等离子体放电的影响 | 第37-40页 |
| 3.3.4 气体比率对等离子体放电的影响 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 模拟结果的实验验证及与COMSOL软件的比较 | 第44-50页 |
| 4.1 实验装置及诊断装置介绍 | 第44-45页 |
| 4.2 计算机模拟的实验验证 | 第45-46页 |
| 4.3 Ar/O_2模拟结果与COMSOL软件的比较 | 第46-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |