| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-34页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 长工作距复消色差显微技术研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 复消色差显微技术研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.2 长工作距显微技术研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3 反射显微成像技术研究及应用现状 | 第23-32页 |
| 1.3.1 反射显微技术研究现状 | 第23-28页 |
| 1.3.2 反射显微技术应用现状 | 第28-32页 |
| 1.4 本领域存在的科学问题 | 第32-33页 |
| 1.5 课题主要研究内容 | 第33-34页 |
| 第2章 基于泰勒级数展开的非球面反射物镜参数解耦模型研究 | 第34-65页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 非球面的数学表示及非球面反射物镜极坐标模型 | 第34-41页 |
| 2.2.1 非球面的数学表示 | 第34-37页 |
| 2.2.2 非球面反射物镜极坐标模型 | 第37-41页 |
| 2.3 基于泰勒级数展开的反射物镜结构参数解耦方法研究 | 第41-48页 |
| 2.3.1 泰勒级数 | 第41-42页 |
| 2.3.2 极坐标模型的泰勒级数展开 | 第42-44页 |
| 2.3.3 二次曲面的泰勒级数展开 | 第44-45页 |
| 2.3.4 反射物镜参数的确定 | 第45-47页 |
| 2.3.5 高次非球面参数推导及截断误差 | 第47-48页 |
| 2.4 反射物镜的孔径光阑和视场光阑 | 第48-49页 |
| 2.5 仿真分析 | 第49-64页 |
| 2.5.1 放大倍率对解耦模型的影响 | 第49-55页 |
| 2.5.2 主次镜间距对解耦模型的影响 | 第55-59页 |
| 2.5.3 数值孔径对解耦模型的影响 | 第59-62页 |
| 2.5.4 工作距对解耦模型的影响 | 第62-64页 |
| 2.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第3章 基于遮挡约束的非球面反射物镜设计方法 | 第65-87页 |
| 3.1 引言 | 第65页 |
| 3.2 遮挡对反射物镜成像影响分析 | 第65-68页 |
| 3.3 非球面反射物镜遮挡约束模型 | 第68-70页 |
| 3.3.1 非球面反射物镜遮挡约束模型 | 第68-70页 |
| 3.3.2 非球面反射物镜总长度计算模型 | 第70页 |
| 3.4 基于遮挡约束的非球面反射物镜设计方法 | 第70-72页 |
| 3.5 仿真分析 | 第72-86页 |
| 3.5.1 遮挡约束模型验证 | 第72-76页 |
| 3.5.2 数值孔径对遮挡模型的影响 | 第76-80页 |
| 3.5.3 工作距对遮挡模型的影响 | 第80-82页 |
| 3.5.4 离焦对反射物镜成像影响 | 第82-86页 |
| 3.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 第4章 系统设计及关键技术研究 | 第87-107页 |
| 4.1 引言 | 第87页 |
| 4.2 超长工作距显微仪器设计方法 | 第87-89页 |
| 4.3 超长工作距反射物镜设计及实现 | 第89-97页 |
| 4.3.1 初始结构参数计算 | 第89-90页 |
| 4.3.2 遮挡验证 | 第90-91页 |
| 4.3.3 初始结构成像特性分析 | 第91-94页 |
| 4.3.4 公差分析 | 第94-95页 |
| 4.3.5 反射物镜实现 | 第95-97页 |
| 4.4 照明系统设计 | 第97-99页 |
| 4.4.1 临界照明原理 | 第97页 |
| 4.4.2 柯勒照明原理 | 第97-98页 |
| 4.4.3 反射显微仪器照明系统设计 | 第98-99页 |
| 4.5 显微仪器其他器件选择 | 第99-102页 |
| 4.5.1 后端显微模块 | 第99-100页 |
| 4.5.2 光源模块 | 第100-102页 |
| 4.6 系统公差分析 | 第102-105页 |
| 4.6.1 系统偏心公差分析 | 第102-103页 |
| 4.6.2 系统离焦公差分析 | 第103-105页 |
| 4.7 超长工作距显微仪器机械结构设计及装调 | 第105-106页 |
| 4.8 本章小结 | 第106-107页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第107-116页 |
| 5.1 引言 | 第107页 |
| 5.2 反射物镜成像特性实验 | 第107-111页 |
| 5.2.1 成像特性实验组成 | 第107-108页 |
| 5.2.2 鉴别率板成像实验 | 第108-111页 |
| 5.3 超长工作距显微仪器成像特性实验 | 第111-115页 |
| 5.3.1 超长工作距显微仪器成像特性验证实验组成 | 第111-113页 |
| 5.3.2 鉴别率板成像实验 | 第113-114页 |
| 5.3.3 线阵相机样品成像实验 | 第114-115页 |
| 5.4 本章小结 | 第115-116页 |
| 结论 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 个人简历 | 第131页 |
