| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 表面等离子体基础 | 第13-19页 |
| 1.2.1 金属表面的表面等离子体 | 第13-17页 |
| 1.2.2 表面等离子体的激发方式 | 第17-19页 |
| 1.3 表面等离子体的应用 | 第19-24页 |
| 1.3.1 近场纳米光刻 | 第20-22页 |
| 1.3.2 等离子体波导 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-28页 |
| 第2章 蝴蝶结形纳米小孔的谐振特性 | 第28-46页 |
| 2.1 时域有限差分方法 | 第28-31页 |
| 2.2 银膜中蝴蝶结形纳米小孔的谐振效应 | 第31-37页 |
| 2.3 银膜中蝴蝶结形纳米小孔的制备 | 第37-40页 |
| 2.4 实验测试 | 第40-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 第3章 C形纳米小孔用于纳米光刻的数值模拟和实验研究 | 第46-60页 |
| 3.1 C形小孔的数值模拟分析 | 第46-49页 |
| 3.2 C形小孔与常规形状小孔的数值模拟对比 | 第49-52页 |
| 3.3 静态光刻实验的结果和讨论 | 第52-54页 |
| 3.4 不同脊长的C形纳米小孔的对比 | 第54-55页 |
| 3.5 不同金属材料中C形纳米小孔的对比 | 第55-57页 |
| 3.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第4章 超小间隙蝴蝶结形纳米小孔用于近场扫描光刻的数值模拟和实验研究 | 第60-70页 |
| 4.1 蝴蝶结形纳米小孔的仿真模型 | 第61-62页 |
| 4.2 不同几何参数的蝴蝶结形纳米小孔的对比 | 第62-63页 |
| 4.3 超小间隙的蝴蝶结形纳米小孔样品的制备 | 第63-65页 |
| 4.4 实验测试结果和讨论 | 第65-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第5章 一种新型的楔形混合等离子波导 | 第70-84页 |
| 5.1 新型混合等离子体波导的几何结构 | 第71-72页 |
| 5.2 新型混合等离子体波导模式分析 | 第72-75页 |
| 5.3 新型混合等离子体波导与其他波导结构的比较 | 第75-77页 |
| 5.4 新型混合等离子体波导的制备工艺 | 第77-78页 |
| 5.5 新型混合等离子体波导对工艺误差的容忍度 | 第78-80页 |
| 5.6 本章小结 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 第6章 楔形等离子体波导的传输特性研究 | 第84-102页 |
| 6.1 楔形等离子体波导的模拟 | 第85-91页 |
| 6.2 楔形等离子体波导的制备工艺 | 第91-93页 |
| 6.3 激发端设计 | 第93-97页 |
| 6.4 结构缺陷对楔形等离子体波导的影响 | 第97-99页 |
| 6.5 本章小结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-102页 |
| 第7章 总结和展望 | 第102-106页 |
| 7.1 总结 | 第102-103页 |
| 7.2 展望 | 第103-106页 |
| 攻读博士学位期间取得的学术成果 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |