| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第11-21页 |
| 1.2.1 半导体检测技术现状 | 第11-17页 |
| 1.2.2 锁相载流子成像技术研究现状 | 第17-21页 |
| 1.3 检测系统实现自动化控制的必要性 | 第21-23页 |
| 1.3.1 单点测量PCR系统实现自动化的必要性 | 第21-22页 |
| 1.3.2 LIC成像系统实现自动化的必要性 | 第22-23页 |
| 1.4 本文工作以及组织结构 | 第23-24页 |
| 第二章 基础理论与实验系统 | 第24-48页 |
| 2.1 引言：PCR和LIC的关系 | 第24页 |
| 2.2 单点成像：PCR理论及其系统搭建 | 第24-39页 |
| 2.2.1 PCR理论基础 | 第24-37页 |
| 2.2.2 单点测量系统的光路搭建 | 第37-38页 |
| 2.2.3 单点测量系统的验证性测试 | 第38-39页 |
| 2.3 面成像：LIC理论及其系统搭建 | 第39-47页 |
| 2.3.1 锁相载流子成像理论基础 | 第39-40页 |
| 2.3.2 锁相载流子成像系统的光路搭建 | 第40-43页 |
| 2.3.3 锁相载流子成像系统的验证性测试 | 第43-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 实验系统的自动化实现 | 第48-65页 |
| 3.1 引言：LABVIEW工业标准图形化编程工具 | 第48-49页 |
| 3.2 PCR系统的自动化控制 | 第49-59页 |
| 3.2.1 PCR系统整体的自动化设计（LabVIEW与Matlab） | 第49-54页 |
| 3.2.2 调制信号产生模块（LabVIEW） | 第54-56页 |
| 3.2.3 数据采集与分类存储模块（LabVIEW） | 第56-58页 |
| 3.2.4 数据结果处理模块（LabVIEW与Matlab） | 第58-59页 |
| 3.3 LIC成像系统的自动化控制 | 第59-63页 |
| 3.3.1 LIC成像系统整体的自动化控制设计 | 第59-60页 |
| 3.3.2 激光光源控制模块 | 第60-61页 |
| 3.3.3 相机控制和图像存储模块 | 第61-62页 |
| 3.3.4 图像的传输与存储 | 第62-63页 |
| 3.3.5 系统整体的时序控制 | 第63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 系统的校正与硅载流子复合辐射信号分析 | 第65-81页 |
| 4.1 系统产生误差分析与校正 | 第65-69页 |
| 4.1.1 引言：误差来源与分类 | 第65-66页 |
| 4.1.2 PCR单点测量系统的误差与校正 | 第66页 |
| 4.1.3 LIC成像系统的误差与校正 | 第66-69页 |
| 4.2 硅载流子复合辐射信号数据分析 | 第69-80页 |
| 4.2.1 硅载流子复合辐射信号的理论仿真分析 | 第69-75页 |
| 4.2.2 硅载流子辐射复合信号的实验数据分析 | 第75-80页 |
| 4.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 5.1 工作总结 | 第81页 |
| 5.2 工作展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-91页 |
