热光效应VOA中互连故障分析与可靠性建模
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的研究现状及研究意义 | 第8-12页 |
| ·可变光衰减器（VOA）器件 | 第12-15页 |
| ·VOA 器件的发展现状 | 第12-13页 |
| ·热光型 VOA 器件 | 第13-15页 |
| ·本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 热光 VOA 的失效模式和失效机理 | 第17-28页 |
| ·光电器件的失效模式 | 第17-18页 |
| ·热光 VOA 的失效分析 | 第18-21页 |
| ·热光 VOA 的失效模式 | 第18-19页 |
| ·热光 VOA 失效的理论分析 | 第19-21页 |
| ·电迁移现象 | 第21-23页 |
| ·电子迁移 | 第22-23页 |
| ·热迁移 | 第23页 |
| ·Au 薄膜互连线的电迁移失效模型 | 第23-27页 |
| ·Au 薄膜互连的电迁移物理模型 | 第24-25页 |
| ·温度梯度与薄膜互连电迁移的关系 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 热光 VOA 失效互连的有限元仿真 | 第28-41页 |
| ·有限元模拟仿真法 | 第28-29页 |
| ·互连线的电-热耦合有限元模型 | 第29-31页 |
| ·有限元模型建立 | 第29-30页 |
| ·材料参数 | 第30页 |
| ·划分网格与施加载荷 | 第30-31页 |
| ·仿真结果 | 第31-35页 |
| ·电流密度 | 第31-32页 |
| ·温度与温度梯度 | 第32-35页 |
| ·结构尺寸对互连线电迁移的影响 | 第35-40页 |
| ·不同结构尺寸互连线的电流密度 | 第36-38页 |
| ·不同结构尺寸互连线的温度梯度 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 热光 VOA 互连线的可靠性试验 | 第41-54页 |
| ·互连线样品的制作工艺 | 第41-47页 |
| ·Au 薄膜互连线样品的掩膜板设计 | 第41-43页 |
| ·Au 薄膜互连线样品的制作工艺 | 第43-45页 |
| ·样品互连线的物理参数检测 | 第45-47页 |
| ·试验设计 | 第47-49页 |
| ·试验结果分析 | 第49-53页 |
| ·试验结果 | 第49-52页 |
| ·分析与讨论 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·全文总结 | 第54页 |
| ·今后的工作 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录 | 第61页 |
