一种新型三轴微加速度计的设计与制作
| 目录 | 第1-7页 |
| 表目录 | 第7-8页 |
| 图目录 | 第8-10页 |
| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·MEMS 简介 | 第13页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-21页 |
| ·国外微加速度计研究现状 | 第14-18页 |
| ·国内微加速度计研究现状 | 第18-21页 |
| 第二章 微加速度计结构设计基础 | 第21-29页 |
| ·微加速度计检测方式的选择 | 第21-22页 |
| ·压阻式加速度计 | 第21页 |
| ·压电式加速度计 | 第21页 |
| ·电容式加速度计 | 第21-22页 |
| ·检测方式的确定 | 第22页 |
| ·微加速度计制作材料的选择 | 第22-24页 |
| ·Si 材料的选择 | 第22-23页 |
| ·玻璃材料的选择 | 第23-24页 |
| ·微加速度计理论模型分析 | 第24-28页 |
| ·等效理论模型 | 第24-25页 |
| ·幅频特性分析 | 第25-27页 |
| ·相频特性分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 微加速度计的结构设计与分析 | 第29-47页 |
| ·微加速度计的总体结构设计与工作原理 | 第29-32页 |
| ·总体结构设计 | 第29-30页 |
| ·工作原理 | 第30-32页 |
| ·解算方法 | 第32页 |
| ·微加速度计尺寸的确定依据 | 第32-38页 |
| ·灵敏度 | 第32-37页 |
| ·模态频率 | 第37-38页 |
| ·微加速度计的设计 | 第38-43页 |
| ·排列方式设计 | 第38-39页 |
| ·阻尼设计 | 第39-41页 |
| ·锚点设计 | 第41-42页 |
| ·匹配电容设计 | 第42-43页 |
| ·微加速度计尺寸的确定 | 第43-45页 |
| ·硅结构尺寸的确定 | 第43-44页 |
| ·玻璃结构尺寸的确定 | 第44-45页 |
| ·微加速度计的仿真计算 | 第45-46页 |
| ·灵敏度的仿真计算 | 第45页 |
| ·带宽的计算 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 微加速度计的制作工艺研究 | 第47-55页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第47-48页 |
| ·体微加工技术 | 第47页 |
| ·LIGA 技术和 DEM 技术 | 第47-48页 |
| ·表面微加工技术 | 第48页 |
| ·键合技术 | 第48页 |
| ·微加速度计的制作流程 | 第48-50页 |
| ·总体工艺流程 | 第49页 |
| ·相关工艺介绍 | 第49-50页 |
| ·微加速度计的制作 | 第50-54页 |
| ·硅结构的制作 | 第50-51页 |
| ·玻璃结构的制作 | 第51-52页 |
| ·“硅-玻璃”的键合 | 第52-53页 |
| ·整体结构的划片 | 第53页 |
| ·单机结构的封装 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 微加速度计的测控电路设计 | 第55-67页 |
| ·电容式微加速度计的检测原理与方法 | 第55-57页 |
| ·电容检测原理 | 第55-56页 |
| ·信号检测的几种方法 | 第56-57页 |
| ·测控电路的硬件设计 | 第57-61页 |
| ·电路设计的总体思路 | 第57-58页 |
| ·测量芯片的选取及其设计 | 第58-59页 |
| ·单片机的选取及其设计 | 第59-60页 |
| ·接口转换电路的设计 | 第60-61页 |
| ·测控电路的软件设计 | 第61-65页 |
| ·测控电路主程序 | 第62页 |
| ·AD7747 初始化程序 | 第62-64页 |
| ·UART 通信程序 | 第64-65页 |
| ·上位机的界面设计 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 微加速度计的性能测试 | 第67-73页 |
| ·测试系统 | 第67-68页 |
| ·性能测试 | 第68-72页 |
| ·筛选测试 | 第68-69页 |
| ·灵敏度测试 | 第69-70页 |
| ·精确度测试 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第七章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·全文总结 | 第73页 |
| ·工作展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第82页 |
