非晶硅太阳电池薄膜材料的制备及其光电特性研究

中文摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
第一章 绪论	第11-19页
·太阳电池的发展	第11-14页
·太阳电池的发展背景	第11-12页
·太阳电池的发展历程	第12-13页
·太阳电池的发展趋势	第13-14页
·非晶硅太阳电池的研究现状与发展趋势	第14-18页
·单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的对比	第14-17页
·非晶硅太阳电池的研究方向及发展趋势	第17-18页
·本论文的研究内容	第18-19页
第二章 材料的特性与制备方法	第19-30页
·非晶硅的基本特性	第19-25页
·非晶硅的结构特征	第19-20页
·非晶硅的电学特性	第20-23页
·非晶硅的光学特性	第23-25页
·非晶硅材料的制备及特性的表征	第25-30页
·非晶硅薄膜的生长机理	第25-26页
·非晶硅的常用制备方法	第26-28页
·薄膜性能的表征方法	第28-30页
第三章 实验部分	第30-41页
·实验目的	第30页
·实验仪器及表征方法	第30页
·实验过程及结果讨论	第30-40页
·功率的影响	第30-35页
·气压的影响	第35-40页
·实验总结	第40-41页
参考文献	第41-43页
攻读硕士期间发表和完成的论文	第43-44页
致谢	第44页