硼掺杂对加表表芯机械性能的影响研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 加速度传感器的加工工艺 | 第15-26页 |
| ·体硅加工工艺简介 | 第15页 |
| ·加表的工艺流程 | 第15-23页 |
| ·掺杂 | 第16-19页 |
| ·光刻 | 第19-20页 |
| ·键合 | 第20-21页 |
| ·自停止腐蚀 | 第21-23页 |
| ·硼掺杂工艺对硅的影响 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 硼掺杂工艺对加表表芯的材料影响研究 | 第26-36页 |
| ·硼掺杂浓度的分布研究 | 第27-33页 |
| ·表芯结构的杨氏模量研究 | 第33-34页 |
| ·表芯结构的体积收缩比 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 硼掺杂对表芯结构的机械性能影响 | 第36-52页 |
| ·硼掺杂引起的翘曲研究 | 第36-45页 |
| ·翘曲的实验现象 | 第37-39页 |
| ·翘曲的理论力学模型 | 第39-43页 |
| ·翘曲的结果分析 | 第43-45页 |
| ·硼掺杂引起的刚度研究 | 第45-51页 |
| ·非均匀梁的刚度模型 | 第46-48页 |
| ·多层梁的等效刚度模型 | 第48-50页 |
| ·支撑梁的刚度结果 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 翘曲模型和刚度模型的有限元分析 | 第52-65页 |
| ·有限元简介 | 第52-53页 |
| ·COMSOL 软件 | 第52页 |
| ·ANSYS 软件 | 第52-53页 |
| ·翘曲模型仿真分析 | 第53-58页 |
| ·长度方向上的翘曲 | 第53-55页 |
| ·宽度方向上的翘曲 | 第55-57页 |
| ·结果比较 | 第57-58页 |
| ·刚度模型仿真分析 | 第58-64页 |
| ·支撑梁弯曲刚度的仿真分析 | 第59-61页 |
| ·支撑梁的旋转仿真分析 | 第61-63页 |
| ·表芯整体结构的仿真分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·本文总结 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第71-72页 |
