| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 概论 | 第8-12页 |
| ·声表面波技术简介 | 第8-9页 |
| ·项目的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·本课题研究内容 | 第10-12页 |
| 2 声表面波温度传感芯片设计及系统应用开发 | 第12-36页 |
| ·声表面波基本理论与基片材料 | 第12-14页 |
| ·温度传感芯片基本结构与原理 | 第14-16页 |
| ·叉指换能器及其理论模型 | 第16-23页 |
| ·温度传感芯片设计及模拟仿真 | 第23-31页 |
| ·声表面波温度传感系统及其应用开发 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 光刻版图绘制软件设计 | 第36-46页 |
| ·软件设计思路 | 第36-42页 |
| ·软件的具体实现及操作方法 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 声表面波芯片制备工艺与测试结果 | 第46-56页 |
| ·光刻工艺简介 | 第46-48页 |
| ·刻蚀工艺简介 | 第48-49页 |
| ·测试结果与分析 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56-57页 |
| ·存在的问题和展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |