| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-10页 |
| ·国内外研究概况 | 第10-12页 |
| ·论文研究内容及安排 | 第12-14页 |
| 2 扩散硅压力传感器的设计 | 第14-23页 |
| ·扩散硅压力传感器的理论基础与结构 | 第14-20页 |
| ·扩散硅压力传感器芯片的制作 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 3 压力传感器芯片的有限元分析 | 第23-35页 |
| ·有限元法简介 | 第23-24页 |
| ·压力传感器弹性薄膜的应力分析 | 第24-29页 |
| ·玻璃衬底对传感器输出的影响 | 第29-31页 |
| ·贴片胶对传感器输出的影响 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 压力传感器封装的有限元分析 | 第35-50页 |
| ·波纹膜片的设计 | 第35-45页 |
| ·封装过程中的优化设计 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·全文总结 | 第50页 |
| ·对后续工作的展望 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |