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离子注入平面与条形光波导的优化条件研究

中文摘要第1-13页
ABSTRACT第13-17页
符号说明第17-18页
第一章 绪论第18-34页
第二章 光波导基本理论与实验方法第34-56页
   ·平板波导的线光学理论第35-39页
   ·离子注入与背散射沟道技术第39-42页
   ·光刻掩膜技术第42-45页
   ·光波导耦合方法第45-48页
   ·光波导的传输损耗第48-51页
   ·平面波导折射率的拟合—反射计算法(RCM)第51-56页
第三章 离子注入近化学剂量比与同成分铌酸锂晶体光波导研究第56-86页
   ·MeV Si离子注入近化学计量比铌酸锂平面光波导研究第57-61页
   ·不同能量O离子注入同成分铌酸锂平面光波导研究第61-65页
   ·MeV C与O离子注入同成分铌酸锂波导导模特性研究第65-70页
   ·MeV O离子注入近化学计量比铌酸锂光波导研究第70-77页
   ·500keV质子注入近化学计量比铌酸锂光波导研究第77-81页
   ·MeV C与O离子注入铌酸锂的增强刻蚀第81-86页
第四章 MeV离子注入BIBO晶体平面光波导研究第86-96页
   ·MeV O离子注入BiBO平面光波导研究第87-91页
   ·MeV C离子注入BiBO平面光波导研究第91-96页
第五章 离子注入掺钕光学材料光波导研究第96-110页
   ·6.0MeV O离子注入掺钕硅酸盐玻璃光波导研究第97-104页
   ·6.0MeV C离子注入掺钕硅酸盐玻璃光波导研究第104-106页
   ·3.0MeV O离子注入掺钕钒酸钇光波导研究第106-110页
第六章 离子注入熔融石英平面波导研究第110-119页
   ·2.4MeV C离子注入熔融石英平面光波导研究第111-115页
   ·500keV质子注入熔融石英平面光波导研究第115-119页
第七章 总结第119-123页
   ·主要结果第120-122页
   ·主要创新点第122-123页
致谢第123-125页
攻读博士学位期间发表和投稿论文第125-127页
附:外文论文第127-136页
 1. Low-loss planar and stripe waveguides in Nd~(3+)-doped silicate glass produced by oxygen-ion implantation第127-131页
 2. Si~(2+) ion implanted into Stoichiometric Lithium Niobate Crystals: Waveguide Characterization and Lattice Disorder Analysis第131-136页
学位论文评阅及答辩情况表第136页

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