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离子注入与离子束刻蚀制备平面和条形光波导的研究

中文摘要第1-14页
ABSTRACT第14-19页
符号说明第19-20页
第一章 绪论第20-34页
 参考文献第29-34页
第二章 光波导理论简介第34-50页
   ·光波导的结构类型第35-37页
   ·光线在介质界面的反射和折射第37-38页
   ·平面光波导理论第38-43页
   ·条形光波导理论第43-48页
   ·光波导的归一化参量第48-50页
第三章 实验方法第50-74页
   ·离子注入技术第51-53页
   ·背散射/沟道分析技术第53-54页
   ·波导光的激励方法第54-59页
   ·光波导传输损耗的测量第59-63页
   ·平面波导折射率的拟合-反射计算法(RCM)第63-66页
   ·光刻掩膜技术第66-69页
   ·氩离子刻蚀技术第69-74页
第四章 氧离子注入稀土元素掺杂YCOB晶体平面光波导第74-88页
   ·MeV氧离子注入Yb:YCOB晶体的平面光波导第75-81页
   ·MeV氧离子注入Nd:YCOB和 Er:Yb:YCOB晶体的平面光波导第81-86页
   ·本章小结第86-88页
第五章 重离子注入Yb:GdCOB晶体平面波导的特性研究第88-104页
   ·MeV氧离子注入Yb:GdCOB晶体的平面光波导第89-95页
   ·MeV碳离子注入Yb:GdCOB晶体的平面光波导第95-98页
   ·MeV硅离子注入Yb:GdCOB晶体的平面光波导第98-101页
   ·本章小结第101-104页
第六章 高能碳、氧离子注入RTP晶体的平面光波导第104-114页
   ·实验过程第105页
   ·结果与讨论第105-112页
   ·本章小结第112-114页
第七章 高能低剂量碳离子注入CSBN晶体光波导的研究第114-126页
   ·实验过程第115-116页
   ·结果与讨论第116-124页
   ·本章小结第124-126页
第八章 离子注入光学材料制备条形光波导第126-138页
   ·制备条形光波导的意义第127-129页
   ·氧离子注入KTA晶体制备条形光波导第129-133页
   ·氦离子注入Ce:KNSBN晶体的条形波导阵列第133-135页
   ·本章小结第135-138页
第九章 离子束刻蚀制备衍射光栅和脊形光波导第138-150页
   ·离子束刻蚀制备衍射光栅第139-144页
   ·离子束刻蚀制备脊形光波导第144-148页
   ·本章小结第148-150页
第十章 总结第150-154页
   ·主要结果第151-153页
   ·主要创新点第153-154页
攻读博士学位期间发表的论文第154-156页
致谢第156-158页
英文论文第158-166页
学位论文评阅及答辩情况表第166页

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