| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| ·课题背景、研究意义及当前国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第12-14页 |
| ·当前国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·固体润滑概述 | 第16-18页 |
| ·固体润滑材料的润滑机理 | 第16-17页 |
| ·固体润滑体系中的S元素 | 第17-18页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第18-26页 |
| ·类金刚石的结构与性质 | 第18-21页 |
| ·类金刚石薄膜的成长机制 | 第21-22页 |
| ·类金刚石薄膜的制备技术 | 第22-26页 |
| ·DLC基固体润滑复合薄膜的设计思想及论文工作思路 | 第26-29页 |
| ·DLC基固体润滑复合薄膜的设计思想 | 第26-28页 |
| ·论文工作思路 | 第28-29页 |
| 第2章 实验方法 | 第29-38页 |
| ·薄膜制备设备 | 第29-31页 |
| ·薄膜制备过程 | 第31-33页 |
| ·基体材料处理 | 第31页 |
| ·W层和W_xC层的制备 | 第31-32页 |
| ·DLC基固体润滑复合薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·薄膜性能的表征方法 | 第33-37页 |
| ·激光Raman光谱分析 | 第33-35页 |
| ·X射线分析 | 第35页 |
| ·表面形貌分析 | 第35-36页 |
| ·纳米压痕力学分析 | 第36-37页 |
| ·膜基结合性能分析 | 第37页 |
| ·摩擦系数的测定 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 DLC基固体润滑复合薄膜的结构和形貌表征 | 第38-49页 |
| ·激光Raman光谱分析 | 第38-40页 |
| ·薄膜复合化的影响 | 第38-39页 |
| ·调整沉积偏压的影响 | 第39-40页 |
| ·X射线分析 | 第40-44页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第40-41页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第41-44页 |
| ·表面组织形貌分析 | 第44-48页 |
| ·AFM形貌分析 | 第44-46页 |
| ·SEM分析 | 第46-47页 |
| ·TEM形貌结构分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 DLC基固体润滑复合薄膜的力学、摩擦学及热稳定性能 | 第49-65页 |
| ·薄膜的硬度和弹性模量 | 第49-53页 |
| ·调整总气压的影响 | 第49-51页 |
| ·调整沉积偏压的影响 | 第51-52页 |
| ·调整 WS_2靶溅射功率的影响 | 第52-53页 |
| ·膜基结合性能分析 | 第53-55页 |
| ·调整总气压的影响 | 第53-54页 |
| ·调整沉积偏压的影响 | 第54-55页 |
| ·薄膜的摩擦系数 | 第55-62页 |
| ·大气下摩擦系数的测定 | 第55-60页 |
| ·真空中摩擦系数测定 | 第60-62页 |
| ·热稳定性分析 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |