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短脉冲KrF光源的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪 论第9-20页
   ·课题研究的目的和意义第9-10页
   ·国内外激光脉冲削波、压缩领域研究现状及分析第10-18页
     ·时空变换法第10-11页
     ·电光开关法第11-13页
     ·受激布里渊散射(SBS)技术第13-14页
     ·饱和吸收技术第14页
     ·利用光学击穿进行脉冲削波第14-16页
     ·利用饱和增益开关法进行脉冲削波第16-17页
     ·各种方案的比较第17-18页
   ·本文研究内容及结构安排第18-20页
第2章 激光振荡淬灭法理论基础与计算第20-30页
   ·激光振荡淬灭法的理论基础第20-22页
   ·激光振荡淬灭法理论计算第22-29页
     ·外加反射镜与光束横截面夹角对ASE 脉冲削波的影响第23-26页
     ·外加反射镜与激光器距离对ASE 脉冲削波的影响第26-29页
   ·本章小结第29-30页
第3章 振荡淬灭法ASE 脉冲削波实验研究第30-42页
   ·折叠腔设计方案第30-31页
   ·两片外加反射镜的振荡淬灭实验第31-35页
     ·外加反射镜与光束横截面夹角θ对ASE 脉冲削波的影响第31-33页
     ·初始ASE 脉冲能量变化对ASE 脉冲削波影响第33-34页
     ·小结第34-35页
   ·一片外加反射镜的振荡淬灭实验第35-40页
     ·外加反射镜与激光器出光口间距离变化对ASE 脉冲的影响第35-37页
     ·初始ASE 脉冲能量变化对ASE 脉冲削波影响第37-38页
     ·前腔镜调偏程度的变化对初始ASE 脉冲波形的影响第38-39页
     ·小结第39-40页
   ·折叠腔的优化设计方案第40-41页
   ·本章小结第41-42页
第4章 光学击穿法KrF 脉冲削波实验研究第42-57页
   ·光学击穿的基本原理第42页
   ·实验方案与实验装置第42-43页
   ·实验结果第43-56页
     ·酒精中掺杂石英粉末浓度对光学击穿脉冲削波的影响第44-46页
     ·酒精悬浊液厚度对光学击穿脉冲削波的影响第46-48页
     ·入射激光脉冲能量对光学击穿脉冲削波的影响第48-50页
     ·透镜与液面间距离对光学击穿脉冲削波的影响第50-52页
     ·焦斑与比色皿壁的水平距离对光学击穿脉冲削波的影响第52-53页
     ·SBS 效应对光学击穿脉冲削波的影响第53-55页
     ·KrF 激光器ASE 脉冲的光学击穿削波效果第55-56页
   ·本章小结第56-57页
结论第57-58页
参考文献第58-62页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第62-63页
附录1第63-64页
附录2第64-66页
致谢第66页

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