半导体行业中物料自动控制的应用研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章 概述	第9-14页
·选题的背景依据与意义	第9-10页
·国内外情况分析	第10页
·本文的研究内容	第10-11页
·工作成果	第11-12页
·论文组织结构	第12-13页
·本章小结	第13-14页
第二章 物料自动控制系统的需求分析以及体系结构	第14-30页
·MCS 系统概述	第14-16页
·MCS 系统的需求分析	第16-22页
·MCS 系统的关键技术	第22-28页
·MCS 系统体系结构的方案研究	第28-30页
第三章 物料自动控制系统的方案设计及技术研究	第30-53页
·设计原则	第30页
·运行环境设计	第30-32页
·MCS 系统的核心技术方案研究设计	第32-52页
·本章小结	第52-53页
第四章 物料自动控制系统取得的成果	第53-61页
·MCS 系统实现的功能	第53-58页
·系统实现负载均衡及冗余	第58-59页
·系统现场测试	第59-60页
·本章小结	第60-61页
第五章 物料自动控制系统的总结与展望	第61-64页
·课题研究成果总结	第61页
·课题研究中尚未解决的问题及今后解决办法设想	第61-63页
·课题研究方向的展望	第63页
·本章小结	第63-64页
参考文献	第64-66页
致谢	第66-67页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第67-69页