硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·MEMS技术简介 | 第9-10页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第10-12页 |
| ·MEMS加速度传感器及其应用 | 第10-11页 |
| ·MEMS加速度传感器的种类 | 第11-12页 |
| ·低噪声电容式加速度传感器 | 第12-17页 |
| ·梳齿式电容加速度传感器 | 第12-14页 |
| ·三明治式电容加速度传感器 | 第14-16页 |
| ·真空封装 | 第16-17页 |
| ·加速度传感器的设计目标 | 第17页 |
| ·论文主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 传感器的设计 | 第19-32页 |
| ·选用三明治结构的考虑 | 第19页 |
| ·整体结构设计 | 第19-25页 |
| ·全硅与硅玻璃方案 | 第19-21页 |
| ·梁-质量块结构设计 | 第21-25页 |
| ·噪声的考虑 | 第25-27页 |
| ·热机械噪声 | 第26页 |
| ·电学噪声 | 第26-27页 |
| ·设计参数 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 关键工艺研究 | 第32-50页 |
| ·引线 | 第32-36页 |
| ·玻璃-硅-玻璃结构的引线制作 | 第32-34页 |
| ·全硅结构的引线制作 | 第34-36页 |
| ·多层硅键合 | 第36-40页 |
| ·硅-硅键合 | 第36-39页 |
| ·玻璃软化键合 | 第39-40页 |
| ·阻尼问题 | 第40-41页 |
| ·真空封装 | 第41-42页 |
| ·绝缘性问题 | 第42-43页 |
| ·电容间隙 | 第43-44页 |
| ·三层硅键合加速度传感器的工艺流程 | 第44-46页 |
| ·四层硅键合加速度传感器的工艺流程 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 传感器性能测试 | 第50-54页 |
| ·气密性测试 | 第50-52页 |
| ·氦气细检 | 第50-51页 |
| ·氟油粗检 | 第51-52页 |
| ·静态信号与 Q值测试 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结 | 第54-58页 |
| ·工作总结 | 第54页 |
| ·存在的问题和改进方向 | 第54-58页 |
| ·梁厚度的控制 | 第54-55页 |
| ·低温键合 | 第55-58页 |
| 硕士期间发表论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 作者简介 | 第60-61页 |
