| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| ·微系统和微检测 | 第10-15页 |
| ·微系统概念和发展前景 | 第10-12页 |
| ·微构件检测 | 第12页 |
| ·微尺寸检测的现状与发展 | 第12-15页 |
| ·微流控芯片流道目前的检测方法 | 第15-19页 |
| (一) 触针式轮廓仪 | 第15页 |
| (二) 干涉检测技术 | 第15-17页 |
| (三) 扫描电镜 | 第17-18页 |
| (四) 三维视觉检测技术 | 第18-19页 |
| ·计算机视觉和图像 | 第19-22页 |
| ·计算机视觉 | 第19-20页 |
| ·计算机图像 | 第20页 |
| ·数字图像处理及其关键技术 | 第20-22页 |
| ·D.F.D.方式的原理及其国内外研究现状 | 第22-23页 |
| ·课题研究的意义和背景 | 第23-24页 |
| ·课题研究的意义 | 第23-24页 |
| ·课题研究的背景 | 第24页 |
| ·论文主要研究内容与总体框架 | 第24-26页 |
| 第二章 基于D.F.D.的微流控芯片微流道测深原理 | 第26-35页 |
| ·基于透镜成像原理的深度计算推导 | 第26-29页 |
| ·散焦半径与光学系统参数的关系 | 第29页 |
| ·光学系统成像与点扩展函数 | 第29-30页 |
| ·现今σ的计算方法 | 第30-34页 |
| ·去卷积法 | 第30-32页 |
| ·多项式法 | 第32页 |
| ·极大似然法 | 第32-33页 |
| ·矩阵法 | 第33页 |
| ·主动视觉法 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于D.F.D.的微流控芯片微流道测深实现 | 第35-42页 |
| ·现有深度计算方法的不足和矩不变法的原理 | 第35-36页 |
| ·矩不变法在散焦测深中的运用 | 第36-39页 |
| ·矩不变法的具体表达形式 | 第39-41页 |
| ·矩不变法计算深度的具体流程和本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 基于D.F.D.的微流道数字图像处理及结果 | 第42-56页 |
| ·数字图像的概念和优点 | 第42-43页 |
| ·数字图像的概念 | 第42-43页 |
| ·数字图像的优点 | 第43页 |
| ·数字图像的形成 | 第43-44页 |
| ·本文的数字图像的处理及处理结果 | 第44-54页 |
| ·图像的灰度图转换 | 第44-47页 |
| ·灰度图像与梯度图像 | 第47-51页 |
| ·中值滤波 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 基于D.F.D.的微流道深度测量计算及误差分析 | 第56-72页 |
| ·微流控芯片流道深度测量流程 | 第56-58页 |
| ·不同梯度算子的梯度图对比 | 第57-58页 |
| ·经中值滤波后梯度图对比 | 第58页 |
| ·流道深度计算 | 第58-66页 |
| ·清晰图像的深度计算和矩不变法校核 | 第58-64页 |
| ·以顶面清晰图像为基准的底面散焦图像深度计算 | 第64-66页 |
| ·误差分析 | 第66-71页 |
| ·图像误差 | 第67-68页 |
| ·镜头畸变 | 第68-70页 |
| ·系统热电子噪声 | 第70页 |
| ·系统CCD摄像机带来的误差 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-75页 |
| ·总结 | 第72页 |
| ·展望 | 第72-75页 |
| 参考文献： | 第75-79页 |
| 作者在读研期间发表的论文和成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
