| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| 第二章 薄膜电阻器工艺 | 第9-11页 |
| 第三章 噪声理论及电阻器的常规噪声测试方法 | 第11-15页 |
| ·器件噪声的分类及特点 | 第11-13页 |
| ·电阻器的常规噪声测试方法 | 第13-15页 |
| 第四章 针对低阻薄膜电阻器的噪声测试方法 | 第15-33页 |
| ·阻抗匹配的重要性 | 第15-18页 |
| ·信号充分放大的重要性 | 第18-21页 |
| ·如何识别噪声信号的正确性 | 第21-22页 |
| ·锁相放大器应用于超低噪声信号测试方法研究 | 第22-29页 |
| ·针对薄膜裸片的探针台测试方法 | 第29-33页 |
| ·探针接触噪声研究 | 第30-31页 |
| ·电源的要求 | 第31页 |
| ·四探针法的正确使用 | 第31-33页 |
| 第五章 薄膜电阻器的低频噪声特性 | 第33-40页 |
| ·镍铬薄膜电阻器的白噪声 | 第34页 |
| ·镍铬薄膜电阻器的低频有色噪声 | 第34-40页 |
| 第六章 1/f噪声用于薄膜电阻可靠性表征 | 第40-46页 |
| ·器件结构与电迁移 | 第40-41页 |
| ·1/f噪声与可靠性表征 | 第41-46页 |
| 第七章 结束语 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 在学期间研究成果 | 第52页 |