| 第一章 概述 | 第1-20页 |
| 1．1 厚膜技术发展的重要性 | 第13页 |
| 1．2 厚膜技术发展概况 | 第13-15页 |
| 1．3 厚膜技术的应用特点 | 第15页 |
| 1．4 厚膜技术的应用 | 第15-18页 |
| 1．4．1 厚膜混合集成电路的应用 | 第15-16页 |
| 1．4．2 厚膜传感器的应用 | 第16-18页 |
| 1．5 厚膜力敏传感技术在国内的应用现状及前景 | 第18-20页 |
| 第二章 厚膜压力传感器的技术基础 | 第20-33页 |
| 2．1 传感器的基本特性 | 第20-23页 |
| 2．1．1 静态特性 | 第20-23页 |
| 2．1．2 动态特性 | 第23页 |
| 2．2 厚膜工艺 | 第23-25页 |
| 2．3 厚膜传感器工作原理 | 第25-30页 |
| 2．3．1 厚膜应变电阻的压阻效应 | 第25-28页 |
| 2．3．2 厚膜压力传感器的结构 | 第28页 |
| 2．3．3 厚膜压力传感器的工作原理及输入输出关系 | 第28-30页 |
| 2．4 厚膜压力传感器的特点 | 第30-31页 |
| 2．5 提高传感器性能的技术途径 | 第31-33页 |
| 第三章 厚膜微压传感器攻关方案设计 | 第33-38页 |
| 3．1 厚膜微压传感器的主要性能指标 | 第33页 |
| 3．2 厚膜微压传感器的性能指标分析 | 第33-35页 |
| 3．3 厚膜微压传感器的攻关方案设计 | 第35-38页 |
| 第四章 厚膜微压传感器的研制 | 第38-56页 |
| 4．1 厚膜微压传感器结构设计 | 第38-47页 |
| 4．1．1 陶瓷膜片的应变特性及膜片选定 | 第39-44页 |
| 4．1．2 影响GF的因素及厚膜电阻浆料的选定 | 第44-45页 |
| 4．1．3 厚膜微压传感器芯片的结构设计 | 第45-47页 |
| 4．2 厚膜微压传感器的线性化 | 第47-53页 |
| 4．2．1 厚膜微压传感器线性度的影响因素及改进办法 | 第47-51页 |
| 4．2．2 厚膜微压传感器线性化电路设计及调试 | 第51-53页 |
| 4．3 厚膜微压传感器零点温漂补偿 | 第53-56页 |
| 第五章 厚膜微压传感器的工艺 | 第56-71页 |
| 5．1 厚膜电子浆料及其一般特性 | 第56-60页 |
| 5．1．1 厚膜电子浆料的基本特性 | 第56-58页 |
| 5．1．2 厚膜电子浆料分类和电特性参数 | 第58-60页 |
| 5．2 厚膜微压传感器工艺技术参数 | 第60-68页 |
| 5．2．1 丝网印刷及其工艺参数 | 第61-66页 |
| 5．2．2 厚膜烧结及其工艺参数 | 第66-68页 |
| 5．3 厚膜应变电阻及其工艺 | 第68-69页 |
| 5．4 膜式电阻的微调 | 第69-71页 |
| 第六章 厚膜微压传感器的平面化 | 第71-85页 |
| 6．1 厚膜热敏电阻浆料的研究 | 第71-80页 |
| 6．1．1 厚膜热敏电阻浆料的基本特性 | 第72-75页 |
| 6．1．2 热敏材料对NTC厚膜热敏电阻电学参数的影响 | 第75-78页 |
| 6．1．3 厚膜热敏电阻浆料的实验分析 | 第78-80页 |
| 6．2 厚膜微压传感器的平面化 | 第80-82页 |
| 6．3 微压传感器的厚膜化 | 第82-83页 |
| 6．4 厚膜微压传感器的装配 | 第83-85页 |
| 结束语 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
