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反应磁控溅射法制备玻璃基TiO2/TiN/TiO2多层薄膜的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 引言第9-11页
第2章 文献综述第11-28页
   ·节能镀膜玻璃的发展现状第11-15页
     ·建筑玻璃的节能问题和节能玻璃第11-12页
     ·建筑镀膜玻璃的节能特性第12-15页
   ·性能优异的节能型镀膜玻璃--低辐射玻璃第15-21页
     ·低辐射玻璃的节能原理第15-17页
     ·低辐射玻璃的种类第17-21页
       ·电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃第17-20页
       ·半导体单层膜低辐射玻璃第20-21页
   ·玻璃镀膜的制备技术第21-26页
     ·真空蒸发镀膜法第22页
     ·电浮法镀膜第22页
     ·热喷涂镀膜法第22-23页
     ·化学气相沉积法第23页
     ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel)镀膜第23-24页
     ·溅射镀膜法第24-26页
   ·选题角度的确定第26-28页
第3章 磁控溅射法TiN薄膜的制备与表征第28-46页
   ·氮气分压对薄膜性能的影响第28-44页
     ·试验第28页
       ·试样制备第28页
     ·试样测试第28-29页
     ·结果与讨论第29-44页
       ·氮气分压对薄膜紫外-可见光谱透过率曲线的影响第29-32页
       ·XRD结果分析第32-34页
       ·SEM结果分析第34-35页
       ·TEM结果分析第35-37页
       ·AFM结果分析第37-41页
       ·XPS结果讨论第41-44页
   ·小结第44-46页
第4章 TiN薄膜热处理研究第46-62页
   ·TiNi薄膜热处理研究第46-60页
     ·试样制备及处理第46-47页
       ·样品制备第46页
       ·样品热处理第46页
       ·样品性能测试第46-47页
     ·结果与讨论第47-60页
       ·紫外-可见光透过率测试第47-48页
       ·表面电阻测试第48-50页
       ·SEM测试第50-53页
         ·TiO_2形成热力学分析第51-52页
         ·形成TiO_2的晶体学分析第52-53页
       ·XPS测试第53-60页
   ·小结第60-62页
第5章 多层膜的制备与表征第62-88页
   ·TiO_2/TiN双层膜的制备与表征第62-66页
     ·实验第62页
       ·样品制备第62页
       ·样品紫外-可见光谱透过率测试第62页
     ·结果与讨论第62-66页
       ·样品紫外-可见光谱透过率比较第62-66页
   ·TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的制备与表征第66-75页
     ·实验第66页
       ·样品制备第66页
       ·样品性能测试第66页
         ·样品紫外-可见光透过率第66页
         ·样品润湿角性能测试第66页
     ·结果与讨论:第66-75页
       ·样品的紫外-可见光透过率比较第66-72页
         ·外层TiO_2薄膜对多层膜紫外-可见光透过率的影响第66-68页
         ·TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的紫外-可见光透过率研究第68-71页
         ·中间Ti层对TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的紫外-可见光透过率曲线影响第71-72页
       ·多层膜的润湿角性能研究第72-75页
         ·TiN膜厚度对润湿角的影响第72-73页
         ·中间层Ti膜对润湿角的影响第73-75页
   ·多层膜热处理及光催化性能研究第75-86页
     ·试验第75-76页
       ·试样制备第75-76页
       ·样品性能测试第76页
     ·结果与讨论第76-86页
       ·样品紫外-可见光透过率比较第76-77页
       ·样品SEM结果讨论第77-79页
       ·样品XPS结果讨论第79-82页
       ·样品光催化性能结果讨论第82-86页
   ·小结第86-88页
第6章 结论第88-90页
参考文献第90-94页
致谢第94页

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