摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-9页 |
第1章 引言 | 第9-11页 |
第2章 文献综述 | 第11-28页 |
·节能镀膜玻璃的发展现状 | 第11-15页 |
·建筑玻璃的节能问题和节能玻璃 | 第11-12页 |
·建筑镀膜玻璃的节能特性 | 第12-15页 |
·性能优异的节能型镀膜玻璃--低辐射玻璃 | 第15-21页 |
·低辐射玻璃的节能原理 | 第15-17页 |
·低辐射玻璃的种类 | 第17-21页 |
·电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃 | 第17-20页 |
·半导体单层膜低辐射玻璃 | 第20-21页 |
·玻璃镀膜的制备技术 | 第21-26页 |
·真空蒸发镀膜法 | 第22页 |
·电浮法镀膜 | 第22页 |
·热喷涂镀膜法 | 第22-23页 |
·化学气相沉积法 | 第23页 |
·溶胶-凝胶法(Sol-Gel)镀膜 | 第23-24页 |
·溅射镀膜法 | 第24-26页 |
·选题角度的确定 | 第26-28页 |
第3章 磁控溅射法TiN薄膜的制备与表征 | 第28-46页 |
·氮气分压对薄膜性能的影响 | 第28-44页 |
·试验 | 第28页 |
·试样制备 | 第28页 |
·试样测试 | 第28-29页 |
·结果与讨论 | 第29-44页 |
·氮气分压对薄膜紫外-可见光谱透过率曲线的影响 | 第29-32页 |
·XRD结果分析 | 第32-34页 |
·SEM结果分析 | 第34-35页 |
·TEM结果分析 | 第35-37页 |
·AFM结果分析 | 第37-41页 |
·XPS结果讨论 | 第41-44页 |
·小结 | 第44-46页 |
第4章 TiN薄膜热处理研究 | 第46-62页 |
·TiNi薄膜热处理研究 | 第46-60页 |
·试样制备及处理 | 第46-47页 |
·样品制备 | 第46页 |
·样品热处理 | 第46页 |
·样品性能测试 | 第46-47页 |
·结果与讨论 | 第47-60页 |
·紫外-可见光透过率测试 | 第47-48页 |
·表面电阻测试 | 第48-50页 |
·SEM测试 | 第50-53页 |
·TiO_2形成热力学分析 | 第51-52页 |
·形成TiO_2的晶体学分析 | 第52-53页 |
·XPS测试 | 第53-60页 |
·小结 | 第60-62页 |
第5章 多层膜的制备与表征 | 第62-88页 |
·TiO_2/TiN双层膜的制备与表征 | 第62-66页 |
·实验 | 第62页 |
·样品制备 | 第62页 |
·样品紫外-可见光谱透过率测试 | 第62页 |
·结果与讨论 | 第62-66页 |
·样品紫外-可见光谱透过率比较 | 第62-66页 |
·TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的制备与表征 | 第66-75页 |
·实验 | 第66页 |
·样品制备 | 第66页 |
·样品性能测试 | 第66页 |
·样品紫外-可见光透过率 | 第66页 |
·样品润湿角性能测试 | 第66页 |
·结果与讨论: | 第66-75页 |
·样品的紫外-可见光透过率比较 | 第66-72页 |
·外层TiO_2薄膜对多层膜紫外-可见光透过率的影响 | 第66-68页 |
·TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的紫外-可见光透过率研究 | 第68-71页 |
·中间Ti层对TiO_2/TiN/TiO_2多层膜的紫外-可见光透过率曲线影响 | 第71-72页 |
·多层膜的润湿角性能研究 | 第72-75页 |
·TiN膜厚度对润湿角的影响 | 第72-73页 |
·中间层Ti膜对润湿角的影响 | 第73-75页 |
·多层膜热处理及光催化性能研究 | 第75-86页 |
·试验 | 第75-76页 |
·试样制备 | 第75-76页 |
·样品性能测试 | 第76页 |
·结果与讨论 | 第76-86页 |
·样品紫外-可见光透过率比较 | 第76-77页 |
·样品SEM结果讨论 | 第77-79页 |
·样品XPS结果讨论 | 第79-82页 |
·样品光催化性能结果讨论 | 第82-86页 |
·小结 | 第86-88页 |
第6章 结论 | 第88-90页 |
参考文献 | 第90-94页 |
致谢 | 第94页 |