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纳米硅镶嵌结构与磁控溅射SiC膜的制备与荧光特性研究

摘要第1-8页
Abstract第8-13页
第一章 绪论第13-31页
 第一节 引言第13-15页
 第二节 硅基发光及其发光机理研究进展第15-29页
 第三节 本论文的选题依据与研究思路第29-31页
第二章 实验过程第31-35页
 第一节 碳注入发光样品的制备第31-33页
 第二节 碳注入发光样品的表征第33-34页
 第三节 磁控溅射SiC发光膜的制备与表征第34-35页
第三章 实验结果与讨论第35-61页
 第一节 氢退火注碳样品的荧光特性第35-42页
 第二节 氢退火注碳样品的发光机理第42-51页
 第三节 氮退火注碳样品的荧光特性第51-59页
 第四节 磁控溅射SiC膜荧光特性第59-61页
第四章 结论第61-64页
参考文献第64-71页
作者在攻读硕士研究生期间所发表的论文目录第71-73页
致谢第73页

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