基于免疫反馈机理的MOCVD系统温度自动控制研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·半导体材料发展历程与发展方向 | 第7-8页 |
| ·半导体材料的发展历程 | 第7页 |
| ·当前半导体材料的研究热点和趋势 | 第7-8页 |
| ·MOCVD概况 | 第8-11页 |
| ·MOCVD定义 | 第8-9页 |
| ·MOCVD技术的基本原理 | 第9-10页 |
| ·MOCVD发展概况和发展前景 | 第10-11页 |
| ·研究MOCVD控制系统的意义 | 第11页 |
| ·所研制的MOCVD系统结构 | 第11页 |
| ·温度控制 | 第11-12页 |
| ·免疫与免疫反馈机理 | 第12-13页 |
| ·主要工作和论文安排 | 第13-15页 |
| ·MOCVD系统中的关键技术及本人的主要工作 | 第13-14页 |
| ·论文的章节安排 | 第14-15页 |
| 第二章 MOCVD系统组成 | 第15-21页 |
| ·MOCVD温度控制系统的硬件组成 | 第15-16页 |
| ·硬件组成以及各部分功能和特点 | 第15-16页 |
| ·MOCVD系统温度控制的特点 | 第16页 |
| ·MOCVD温度控制系统流程介绍 | 第16-21页 |
| ·感应加热原理 | 第16页 |
| ·手动调节温度曲线 | 第16-17页 |
| ·温度控制模式 | 第17-21页 |
| 第三章 温度等时滞控制特点及常见算法 | 第21-31页 |
| ·时滞控制的特点 | 第21页 |
| ·时滞系统常见控制算法 | 第21-28页 |
| ·PID控制 | 第21-23页 |
| ·Smith预估控制及改进算法 | 第23-25页 |
| ·神经网络控制 | 第25-26页 |
| ·模糊控制 | 第26-27页 |
| ·其他方法 | 第27-28页 |
| ·时滞系统控制算法的实际应用 | 第28-31页 |
| 第四章 MOCVD系统温度自动控制 | 第31-41页 |
| ·MOCVD系统温度自动控制的特点 | 第31页 |
| ·系统辨识 | 第31-34页 |
| ·PID控制特点及相关参数性能分析 | 第34-41页 |
| ·PID控制算法简介 | 第34-36页 |
| ·Kp、Ki、Kd控制参数性能分析 | 第36-41页 |
| 第五章 免疫、免疫反馈机理及免疫温度控制算法 | 第41-56页 |
| ·生物学意义上的“免疫” | 第41-42页 |
| ·工程应用形式 | 第42-43页 |
| ·在控制领域的研究和应用现状 | 第43-45页 |
| ·免疫控制算法基本原理 | 第45-46页 |
| ·免疫控制算法工程应用仿真 | 第46-49页 |
| ·进一步研究的方向 | 第49-56页 |
| ·免疫算法方面 | 第49-50页 |
| ·免疫算法在控制领域应用方面 | 第50-56页 |
| 第六章 结束语 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 在读期间的研究成果 | 第63页 |
