| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| §1．1 研究射频等离子体鞘层的重要性 | 第7-8页 |
| §1．2 射频等离子体鞘层的研究进展 | 第8-9页 |
| §1．3 本文的研究计划 | 第9-10页 |
| 第二章 碰撞效应对射频放电等离子体鞘层特性的影响 | 第10-23页 |
| §2．1 Liberman的无碰撞射频等离子体鞘层模型 | 第10-12页 |
| §2．2 自洽的碰撞射频等离子体鞘层模型 | 第12-15页 |
| §2．3 数值结果及讨论 | 第15-21页 |
| §2．4 小结 | 第21-23页 |
| 第三章 碰撞效应对离子在基板上的能量分布和角度分布的影响 | 第23-32页 |
| §3．1 研究的现状及存在的问题 | 第23页 |
| §3．2 离子在碰撞射频鞘层中运动的Monte-Carlo模拟方法 | 第23-26页 |
| §3．3 离子在基板上的能量分布和角度分布 | 第26-30页 |
| §3．4 小结 | 第30-32页 |
| 第四章 刻蚀剖面演化的数值模拟 | 第32-46页 |
| §4．1 等离子体刻蚀技术 | 第32-34页 |
| §4．2 刻蚀剖面演化的模型 | 第34-39页 |
| §4．3 碰撞效应对刻蚀剖面的影响 | 第39-44页 |
| §4．4 小结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |