射频辉光放电等离子体空间特性的探针研究
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 一、 引言 | 第8-12页 |
| 1．1 等离子体在工业中的应用 | 第8-9页 |
| 1．2 等离子体诊断的必要性及存在的问题 | 第9-12页 |
| 二、 等离子体物理学基础 | 第12-18页 |
| 2．1 等离子体中粒子的相互作用 | 第12-14页 |
| 2．2 等离子体的准中性 | 第14-15页 |
| 2．3 双极扩散效应与等离子体鞘层 | 第15页 |
| 2．4 直流辉光等离子体电位的轴向变化规律 | 第15-16页 |
| 2．5 电极自偏压效应 | 第16-18页 |
| 三、 等离子体的静电探针诊断 | 第18-24页 |
| 3．1 探针理论的基本前提 | 第18-19页 |
| 3．2 探针Ⅰ-Ⅴ特性曲线获得等离子体参数的方法 | 第19-24页 |
| 四、 等离子体加热机制 | 第24-32页 |
| 4．1 气体放电的击穿 | 第24-25页 |
| 4．2 直流辉光放电的主要过程 | 第25-26页 |
| 4．3 直流辉光放电等离子体的能量获得机制 | 第26-30页 |
| 4．4 射频辉光放电的电子加热模式 | 第30-32页 |
| 五、 实验系统 | 第32-35页 |
| 5．1 实验系统的组成 | 第32页 |
| 5．2 探针中毒效应及射频干扰 | 第32-33页 |
| 5．3 半可动探针 | 第33-35页 |
| 六、 数据分析及处理 | 第35-40页 |
| 6．1 数值滤波 | 第35-36页 |
| 6．2 傅立叶方法 | 第36-38页 |
| 6．3 数学软件ORIGIN5．0求二次微分 | 第38-40页 |
| 七、 实验结果及讨论 | 第40-46页 |
| 7．1 等离子体电子浓度的轴向分布随功率的变化 | 第40-43页 |
| 7．2 等离子体电位的轴向变化规律 | 第43-45页 |
| 7．3 等离子体电子温度的轴向变化规律 | 第45-46页 |
| 八、 结论 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |
