| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 前言 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂的发展及现状 | 第11-13页 |
| ·缓蚀剂的分类及作用机理 | 第13-17页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第13-16页 |
| ·缓蚀剂的作用机理 | 第16-17页 |
| ·缓蚀机理的计算机模拟研究方法 | 第17-19页 |
| ·缓蚀机理研究中的量子化学计算方法 | 第17-18页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第18-19页 |
| ·问题的提出和本论文的研究工作 | 第19-21页 |
| 第二章 理论方法与计算软件简介 | 第21-32页 |
| ·理论方法 | 第21-30页 |
| ·密度泛函理论（DFT） | 第21-23页 |
| ·B3LYP方法 | 第23页 |
| ·前线轨道理论 | 第23-24页 |
| ·自然键轨道（NBO）理论 | 第24页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第24-27页 |
| ·运动方程的数值求解 | 第27-28页 |
| ·相互作用势函数 | 第28-30页 |
| ·Gaussian 和 Material Studio 软件简介 | 第30-32页 |
| ·Gaussian软件简介 | 第30页 |
| ·Material Studio软件简介 | 第30-32页 |
| 第三章 缓蚀剂吡啶及其衍生物构效关系的理论研究 | 第32-48页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·理论计算 | 第33-35页 |
| ·铝表面缓蚀剂计算结果与讨论 | 第35-41页 |
| ·全局反应活性以及分子量子化学参数与缓蚀剂缓蚀性的关系 | 第35-38页 |
| ·缓蚀剂分子的反应活性点位 | 第38-41页 |
| ·铁表面缓蚀剂计算结果与讨论 | 第41-47页 |
| ·全局反应活性以及分子量子化学参数与缓蚀剂缓蚀性的关系 | 第41-43页 |
| ·缓蚀剂分子的反应活性点位 | 第43-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| 第四章 吡啶类缓蚀剂在 Al(111)和 Fe(100)表面吸附的分子动力 学模拟 | 第48-58页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·模型建立和计算方法 | 第48-50页 |
| ·模型建立 | 第48-49页 |
| ·计算方法 | 第49-50页 |
| ·铝表面缓蚀剂吸附的动力学模拟及分析 | 第50-53页 |
| ·计算平衡 | 第50-51页 |
| ·缓蚀剂分子与Al(111)面的吸附能及吸附位型分析 | 第51-53页 |
| ·铁表面缓蚀剂吸附的动力学模拟及分析 | 第53-55页 |
| ·计算平衡 | 第53-54页 |
| ·缓蚀剂分子与Fe(100)面的吸附位型及吸附能分析 | 第54-55页 |
| ·结论 | 第55-58页 |
| 第五章 腐蚀离子在吡啶类缓蚀剂膜中扩散行为的研究 | 第58-66页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·模型建立和计算方法 | 第58-59页 |
| ·模型建立 | 第58页 |
| ·计算方法 | 第58-59页 |
| ·计算结果与讨论 | 第59-65页 |
| ·分子动力学体系的平衡 | 第59-60页 |
| ·缓蚀剂膜的内聚能 | 第60-61页 |
| ·缓蚀剂膜内部缓蚀剂分子的活动性 | 第61-63页 |
| ·缓蚀剂膜内部的自由体积 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
