| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-35页 |
| ·飞秒激光烧蚀的应用 | 第13-16页 |
| ·军用 | 第13-15页 |
| ·民用 | 第15-16页 |
| ·飞秒激光的烧蚀机理 | 第16-18页 |
| ·激光烧蚀的研究方法 | 第18-20页 |
| ·实验研究 | 第18页 |
| ·数值模拟 | 第18-20页 |
| ·飞秒激光烧蚀硅的分子动力学研究进展 | 第20-27页 |
| ·激光-硅相互作用模型 | 第20-24页 |
| ·研究结果 | 第24-27页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-35页 |
| 第二章 分子动力学模拟技术 | 第35-57页 |
| ·基本原理 | 第35-37页 |
| ·适用范围 | 第36页 |
| ·模拟步骤 | 第36-37页 |
| ·硅的经验势 | 第37-38页 |
| ·受力计算的优化方法 | 第38-40页 |
| ·近邻列表算法 | 第39-40页 |
| ·细分单元法 | 第40页 |
| ·初始条件和边界条件 | 第40-45页 |
| ·初始条件 | 第40-43页 |
| ·边界条件 | 第43-45页 |
| ·运动方程的差分方法 | 第45-48页 |
| ·Verlet 算法 | 第45-46页 |
| ·Adams 算法 | 第46-48页 |
| ·感兴趣量的提取 | 第48-49页 |
| ·能量 | 第48页 |
| ·温度 | 第48-49页 |
| ·压力 | 第49页 |
| ·平衡过程的控制 | 第49-51页 |
| ·NVT EMD 模拟 | 第50页 |
| ·NVE EMD 模拟 | 第50-51页 |
| ·程序的实现 | 第51-54页 |
| ·并行方案 | 第51-52页 |
| ·单位制 | 第52页 |
| ·程序流程 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第三章 硅的经验势函数对比与平衡态分子动力学模拟 | 第57-75页 |
| ·硅的经验势的对比研究 | 第57-67页 |
| ·经验势的形式 | 第57-61页 |
| ·经验势的对比研究 | 第61-65页 |
| ·由SW 势导出的原子间相互作用力 | 第65-67页 |
| ·平衡态分子动力学模拟 | 第67-73页 |
| ·初始条件 | 第67-68页 |
| ·FREE EMD 模拟 | 第68-70页 |
| ·NVT EMD 模拟 | 第70页 |
| ·NVE EMD 模拟 | 第70-72页 |
| ·模拟时间 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 第四章 飞秒激光烧蚀现象 | 第75-98页 |
| ·物理模型 | 第76-79页 |
| ·三维“x-分区”模型的具体实现 | 第76-78页 |
| ·能量转化的具体实现 | 第78页 |
| ·算例简介 | 第78-79页 |
| ·烧蚀现象 | 第79-86页 |
| ·光斑完全覆盖材料表面 | 第79-83页 |
| ·光斑面积小于材料表面积 | 第83-86页 |
| ·应力波现象 | 第86-92页 |
| ·激光影响区的应力波 | 第86-90页 |
| ·晶体区的应力波 | 第90-92页 |
| ·SI(100)与SI(111)烧蚀现象的对比 | 第92-96页 |
| ·烧蚀形貌 | 第93-95页 |
| ·应力波速度 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-98页 |
| 第五章 激光参数对烧蚀现象的影响 | 第98-116页 |
| ·脉宽和光强的影响 | 第99-103页 |
| ·烧蚀现象 | 第99-101页 |
| ·阈值效应 | 第101-103页 |
| ·激光空间谱的影响 | 第103-107页 |
| ·高斯激光 | 第103页 |
| ·高斯激光的烧蚀现象 | 第103-107页 |
| ·波长的影响 | 第107-110页 |
| ·加载方式的影响 | 第110-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-116页 |
| 第六章 全文总结 | 第116-120页 |
| ·本文创新点 | 第116页 |
| ·本文主要结论 | 第116-118页 |
| ·研究展望 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第121-122页 |
| 附录A 基本物理常量 | 第122-123页 |
| 附录B Maxwell-Boltzmann 速度分布 | 第123-125页 |
| 附录C 算例列表 | 第125页 |