氧化铍基HFCVD金刚石薄膜及其热性能的研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
目录	第6-8页
第一章 文献综述	第8-22页
·引言	第8-9页
·氧化铍的结构性能及应用	第9-13页
·氧化铍的结构	第9页
·氧化铍的性能	第9-11页
·氧化铍的应用	第11-12页
·氧化铍在应用过程中遇到的问题及解决的方法	第12-13页
·金刚石的结构性能及应用	第13-18页
·金刚石的结构	第13-14页
·金刚石的性能及应用	第14-17页
·金刚石薄膜的制备方法	第17-18页
·膜基复合材料在高功率电器上的研究进展	第18-20页
·金刚石薄膜与氧化铝复合材料的研究	第18-19页
·金刚石薄膜/硅复合材料的研究	第19页
·存在的问题及解决的方法	第19-20页
·复合材料热导率的计算方法	第20-21页
·热阻的欧姆定律计算热导率	第20页
·复合材料热导率的串并联法则	第20-21页
·根据热扩散系数计算热导率:	第21页
·研究的目的和意义	第21-22页
第二章 实验原理与方法	第22-33页
·薄膜的制备	第22-24页
·实验设备	第22-23页
·热丝化学气相沉积金刚石薄膜的原理	第23-24页
·性能检测	第24-29页
·X射线衍射	第24-25页
·金相显微镜	第25-26页
·场发射扫描电镜	第26-27页
·原子力显微镜分析	第27-28页
·热扩散系数的测量及热导率的计算方法	第28-29页
·氧化铍基体上生长金刚石的可行性分析	第29-31页
·沉积金刚石的基体	第29页
·提高膜/基附着力的方法	第29-30页
·氧化铍基体上沉积金刚石的可行性分析	第30-31页
·晶格导热理论	第31-33页
·晶格导热的原理	第31页
·金刚石与氧化铍具有高热导率的原因	第31-33页
第三章 基体预处理对金刚石在氧化铍上生长的影响	第33-47页
·基体研磨对剥落情况的影响	第33-36页
·不同酸处理对金刚石薄膜连续性的影响	第36-38页
·不同氢氟酸处理时间对金刚石薄膜表面的影响	第38-40页
·基体形貌对金刚石薄膜的影响	第40-43页
·基体预处理对形核的影响	第43-45页
·本章小结	第45-47页
第四章 沉积参数对氧化铍上生长金刚石的影响	第47-59页
·沉积气压对沉积金刚石薄膜的影响	第47-50页
·沉积气压对薄膜表面形貌的影响	第47-48页
·沉积气压对金刚石薄膜取向的影响	第48-49页
·沉积气压影响金刚石薄膜生长的机制	第49-50页
·甲烷浓度对沉积金刚石薄膜的影响	第50-53页
·甲烷浓度对金刚石结晶性的影响	第50-51页
·甲烷浓度对金刚石颗粒形貌的影响	第51-53页
·甲烷浓度影响金刚石沉积的机制	第53页
·工作气体总流量对沉积金刚石薄膜的影响	第53-56页
·气体总流量对金刚石结晶性的影响	第53-54页
·气体总流量对金刚石颗粒形貌的影响	第54-56页
·气体总流量影响金刚石薄膜生长的机制	第56页
·热丝与基体之间的距离	第56-58页
·本章小结	第58-59页
第五章 金刚石膜氧化铍基复合材料热导率的研究	第59-69页
·不同膜与基体串并联方式对复合体热导率的影响	第59-61页
·不同基体预处理方式对复合体热导率的影响	第61-62页
·不同沉积参数对复合体热导率的影响	第62-63页
·金刚石薄膜的微观组织结构对复合体热导率的影响	第63-68页
·金刚石晶粒尺寸对热导率的影响	第63-66页
·金刚石的取向对热导率的影响	第66-67页
·金刚石薄膜表面粗糙度对热导率的影响	第67-68页
·本章小结	第68-69页
第六章 结论	第69-70页
参考文献	第70-79页
致谢	第79-80页
攻读硕士期间发表的论文	第80页