宽光谱监控薄膜生长系统的研制

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
第一章 绪论	第6-13页
·光学薄膜的制备历史	第6-10页
·镀膜方法	第10页
·薄膜生长监控技术	第10-11页
·本论文的工作目的和意义	第11-13页
第二章 光学薄膜技术	第13-26页
·光学薄膜设计的基本原理	第13-15页
·光学薄膜的生长技术	第15-26页
·真空环境与真空设备	第15-22页
·光学薄膜生长的技术和方法	第22-26页
第三章 宽光谱光学镀膜监控系统	第26-49页
·基本原理	第26-28页
·系统装置	第28-32页
·镀膜监控流程	第32-33页
·数据处理	第33-42页
·均值滤波和中值滤波方法	第34-35页
·傅里叶频谱域滤波去噪法	第35-39页
·基片干涉的影响	第39-42页
·镀膜终止判断算法	第42-45页
·线段斜率法	第43-44页
·多项式拟合判断法	第44-45页
·实验结果与讨论	第45-49页
第四章 系统控制程序设计	第49-55页
·软件控制系统的界面	第50-53页
·程序框架思想	第53-55页
第五章 结论	第55-56页
参考文献	第56-60页
攻读硕士学位期间发表的论文	第60-61页
致谢	第61-62页