| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 致谢 | 第12-21页 |
| 第一章 绪论 | 第21-39页 |
| ·研究起源及目的 | 第21页 |
| ·国内外纳米三坐标测量机(nano-CMM)的研究进展 | 第21-25页 |
| ·大量程纳米位移测量技术的发展概况 | 第25-28页 |
| ·用于纳米测量的信号的修正和细分技术 | 第28-29页 |
| ·大行程纳米定位控制系统的研究进展 | 第29-31页 |
| ·自适应控制理论和实践 | 第31-32页 |
| ·纳米测头及其控制策略的研究进展 | 第32-36页 |
| ·二维纳米定位控制技术发展 | 第36-37页 |
| ·本研究课题来源 | 第37页 |
| ·本研究的主要内容以及拟解决的问题 | 第37-39页 |
| 第二章 nano-CMM的测量控制系统 | 第39-45页 |
| ·系统架构 | 第39-42页 |
| ·纳米三坐标测量机测控系统关键技术 | 第42-43页 |
| ·实验设计及误差分析方法 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 基于超声波马达和光学尺的纳米定位控制技术研究 | 第45-58页 |
| ·超声波马达HR4 原理 | 第45-48页 |
| ·通用型正交弦波信号处理 | 第48-52页 |
| ·正交弦波信号的辨向计数和细分 | 第52-55页 |
| ·定位控制实验 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 三轴运动控制反馈——线性衍射光栅干涉仪（ LDGI）的研制 | 第58-90页 |
| ·干涉式光栅测量原理 | 第58-62页 |
| ·几代 LDGI 结构设计 | 第62-65页 |
| ·改进型 LDGI 设计 | 第65-74页 |
| ·LDGI安装固定元件的设计改进 | 第74-76页 |
| ·LDGI电路 | 第76-77页 |
| ·容差分析 | 第77-81页 |
| ·通用型防回射鉴相干涉模块的设计及其应用 | 第81-83页 |
| ·LDGI信号实时修正和细分技术 | 第83-86页 |
| ·位移测量实验 | 第86-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 纳米定位控制技术 | 第90-107页 |
| ·基于 HR4 和 LDGI 的纳米定位系统 | 第90页 |
| ·基于 BP 神经网络的 PID 控制原理 | 第90-95页 |
| ·AC模式低速控制 | 第95-98页 |
| ·GATE 模式定位调整 | 第98页 |
| ·DC 模式定位控制 | 第98-100页 |
| ·三驱动模式整合的定位控制技术 | 第100-103页 |
| ·微位移定位控制 | 第103页 |
| ·背隙(backlash)影响分析 | 第103-105页 |
| ·误差分析 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第六章 二维纳米定位控制技术 | 第107-117页 |
| ·二维纳米定位控制技术关键点 | 第107-108页 |
| ·系统架设 | 第108页 |
| ·二维定位控制仿真 | 第108-113页 |
| ·二维定位控制实验 | 第113-115页 |
| ·本章小结 | 第115-117页 |
| 第七章 测头标定和触发控制 | 第117-132页 |
| ·基于 DVD 读取头的非接触式测头的标定和应用 | 第117-120页 |
| ·接触式测头的标定和触发控制 | 第120-130页 |
| ·本章小结 | 第130-132页 |
| 第八章 nano-CMM 系统软件开发构想 | 第132-138页 |
| ·nano-CMM系统软件开发工具及其数据交换 | 第132-134页 |
| ·nano-CMM系统软件面板设计 | 第134-136页 |
| ·本章小结 | 第136-138页 |
| 第九章 总结和展望 | 第138-142页 |
| ·主要工作及成果总结 | 第138-139页 |
| ·研究工作展望 | 第139-142页 |
| 参考文献 | 第142-147页 |
| 作者在攻读博士学位期间的论文、著作、专利与获奖 | 第147-148页 |
