晶圆定位视觉检测系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第10-12页 |
| 1.2 课题研究目的 | 第12页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第12-14页 |
| 1.3.1 应用意义 | 第12-13页 |
| 1.3.2 理论意义 | 第13-14页 |
| 1.4 晶圆定位视觉检测系统的国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4.1 划片机的国内外发展现状 | 第14页 |
| 1.4.2 国内外主流定位算法研究 | 第14-15页 |
| 1.5 课题研究主要内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 1.5.1 论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5.2 检测重点、难点分析 | 第16页 |
| 1.5.3 论文的组织结构 | 第16-17页 |
| 第2章 硬件系统设计 | 第17-27页 |
| 2.1 硬件系统概述 | 第17页 |
| 2.2 硬件系统需求 | 第17-18页 |
| 2.2.1 硬件系统基本功能 | 第17页 |
| 2.2.2 硬件技术指标 | 第17-18页 |
| 2.3 硬件系统整体设计方案 | 第18-19页 |
| 2.4 成像系统设计方案 | 第19-24页 |
| 2.4.1 相机选型方案 | 第19-21页 |
| 2.4.2 镜头选型方案 | 第21-22页 |
| 2.4.3 光源选型和打光方案 | 第22-24页 |
| 2.5 运动系统设计方案 | 第24-26页 |
| 2.5.1 运动控制卡的选型 | 第24-25页 |
| 2.5.2 运动台的选型 | 第25-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 软件系统设计 | 第27-34页 |
| 3.1 软件系统概述 | 第27页 |
| 3.2 人工交互主界面 | 第27-28页 |
| 3.3 运动控制界面 | 第28-29页 |
| 3.4 软件系统设计 | 第29-33页 |
| 3.4.1 用户交互工具设计 | 第29-30页 |
| 3.4.2 基于Task类的异步编程 | 第30-31页 |
| 3.4.3 定位摆正算法的模块化设计 | 第31-32页 |
| 3.4.4 通信设计 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 晶圆定位摆正算法 | 第34-52页 |
| 4.1 定位摆正算法概述 | 第34页 |
| 4.2 基于模板匹配的粗摆正算法 | 第34-41页 |
| 4.2.1 模板匹配基本原理和步骤概述 | 第34页 |
| 4.2.2 基于灰度值的晶圆模板匹配 | 第34-37页 |
| 4.2.3 基于边缘几何特征的高性能模板匹配算法 | 第37-38页 |
| 4.2.4 图像金字塔对匹配时间的优化 | 第38-40页 |
| 4.2.5 匹配结果的处理 | 第40-41页 |
| 4.3 基于霍夫变换的精摆正算法 | 第41-49页 |
| 4.3.1 霍夫变换的简介 | 第41-43页 |
| 4.3.2 霍夫变换的具体实现步骤 | 第43-47页 |
| 4.3.3 对于霍夫变换提取结果的处理 | 第47-49页 |
| 4.4 基于形态学的精摆正算法 | 第49-51页 |
| 4.4.1 基于灰度的形态学图像预处理 | 第49页 |
| 4.4.2 根据特征筛选区域或边缘 | 第49-51页 |
| 4.4.3 两种沟道提取算法比较 | 第51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 刀口实时校正算法 | 第52-57页 |
| 5.1 刀口实时校正算法概述 | 第52-53页 |
| 5.2 刀口校正算法实现步骤 | 第53-56页 |
| 5.2.1 基于阈值分割的沟道提取 | 第53-54页 |
| 5.2.2 实际沟道位置判断 | 第54-55页 |
| 5.2.3 校正距离的计算 | 第55-56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 综合测试及结果分析 | 第57-59页 |
| 第7章 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
