一种基于乐甫波的血液粘度传感器设计优化与工艺研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3 研究目的及主要内容 | 第13-14页 |
| 1.4 本章小结 | 第14-15页 |
| 2 乐甫波传播特性研究 | 第15-26页 |
| 2.1 用于血液粘度检测的传感器选择 | 第15-18页 |
| 2.2 乐甫波的理论研究基础 | 第18-21页 |
| 2.3 乐甫波传播模式的研究 | 第21-23页 |
| 2.4 乐甫波传感器负载血液的研究 | 第23-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 血液粘度传感器的设计与优化 | 第26-32页 |
| 3.1 乐甫波传感器的设计 | 第26-29页 |
| 3.1.1 乐甫波血液粘度传感器的结构设计 | 第26-27页 |
| 3.1.2 乐甫波血液粘度传感器的实验设计 | 第27-29页 |
| 3.2 乐甫波传感器IDT的设计与优化 | 第29-31页 |
| 3.2.1 IDT叉指形状的设计与分析 | 第29-30页 |
| 3.2.2 IDT叉指尺寸的设计与分析 | 第30-31页 |
| 3.3 乐甫波传感器薄膜材料的设计与分析 | 第31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 4 乐甫波血液粘度传感器的工艺制作 | 第32-44页 |
| 4.1 乐甫波传感器的工艺设计 | 第32-36页 |
| 4.1.1 乐甫波传感器的光刻技术 | 第32-33页 |
| 4.1.2 乐甫波传感器的沉积技术 | 第33-34页 |
| 4.1.3 乐甫波传感器加工工艺流程 | 第34-36页 |
| 4.2 乐甫波血液粘度传感器的版图设计 | 第36-41页 |
| 4.2.1 IDT剥离工艺的版图设计 | 第36页 |
| 4.2.2 SiO_2薄膜工艺的版图设计 | 第36-37页 |
| 4.2.3 乐甫波传感器的整体版图 | 第37-41页 |
| 4.3 乐甫波器件的工艺实现 | 第41-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 乐甫波传感器检测血液粘度的测试与讨论 | 第44-55页 |
| 5.1 模拟血液配比与制作 | 第44-45页 |
| 5.2 模拟血液检测 | 第45-46页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第46-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 6 论文总结与工作展望 | 第55-57页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第55-56页 |
| 6.2 论文创新点 | 第56页 |
| 6.3 后期工作与展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62页 |
| A.作者在攻读学位期间发表的文章目录 | 第62页 |
| B.作者在攻读学位期间参加的科研项目 | 第62页 |
| C.作者在攻读学位期间申请的专利目录 | 第62页 |
