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用于低阶像差补偿的边缘驱动变形镜研究

摘要第10-11页
ABSTRACT第11-12页
第1章 绪论第13-23页
    1.1 课题背景第13-15页
        1.1.1 高功率激光器光束质量研究现状第13-14页
        1.1.2 自适应光学补偿像差第14-15页
    1.2 波前校正器及其发展现状第15-19页
        1.2.1 连续面形分立驱动变形镜第16页
        1.2.2 双压电片变形镜第16-17页
        1.2.3 MEMS变形镜第17页
        1.2.4 现有变形镜应用与高能激光系统时存在的问题第17-19页
    1.3 边缘驱动国内外研究现状第19-22页
    1.4 论文内容安排第22-23页
第2章 边缘驱动变形镜像差面形生成理论分析第23-38页
    2.1 像差的描述第23-27页
        2.1.1 Zernike多项式的定义第24-26页
        2.1.2 利用Zernike多项式拟合实际面形[62]第26-27页
    2.2 边缘驱动变形镜面形形变理论分析第27-35页
        2.2.1 圆盘形变平衡方程式第27-30页
        2.2.2 各力学量与面形形变位移的关系第30页
        2.2.3 特定面形形变边缘加载力矩大小计算第30-35页
    2.3 变形镜面形影响函数第35-37页
    2.4 本章小结第37-38页
第3章 四臂边缘驱动变形镜优化设计第38-62页
    3.1 边缘驱动变形镜理论分析简化第38-45页
        3.1.1 12臂边缘驱动变形镜生成离焦的载荷大小计算第38-41页
        3.1.2 12臂边缘驱动变形镜生成像散的载荷大小计算第41-42页
        3.1.3 12臂边缘驱动变形镜载荷分析与初步简化方案第42-45页
    3.2 四臂边缘驱动变形镜结构优化第45-53页
        3.2.1 驱动臂结构优化第46-48页
        3.2.2 加入细脖结构第48-49页
        3.2.3 其他结构优化第49-53页
    3.3 四臂边缘驱动变形镜结构参数优化第53-58页
        3.3.1 镜面厚度及材料优化第53-55页
        3.3.2 镜框厚度优化第55-56页
        3.3.3 驱动臂厚度优化第56-58页
    3.4 变形镜整体结构完善第58-60页
        3.4.1 压电陶瓷驱动器选型第58-59页
        3.4.2 其余结构设计与整体结构第59-60页
    3.5 变形镜影响函数仿真第60-61页
    3.6 本章总结第61-62页
第4章 四臂边缘驱动变形镜制作与测试第62-74页
    4.1 主要加工工艺第62-63页
    4.2 镜面粘接工艺第63-65页
    4.3 变形镜形变能力测试第65-72页
        4.3.1 测试方法第65-66页
        4.3.2 镜面初始面形测量第66页
        4.3.3 变形镜影响函数测量及其标定第66-68页
        4.3.4 变形镜像差面形生成能力测试第68-72页
    4.4 本章总结第72-74页
第5章 总结与展望第74-76页
    5.1 全文总结第74-75页
    5.2 主要创新点第75页
    5.3 工作展望第75-76页
致谢第76-78页
参考文献第78-82页
作者在学期间取得的学术成果第82页

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