| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 课题背景 | 第13-15页 |
| 1.1.1 高功率激光器光束质量研究现状 | 第13-14页 |
| 1.1.2 自适应光学补偿像差 | 第14-15页 |
| 1.2 波前校正器及其发展现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 连续面形分立驱动变形镜 | 第16页 |
| 1.2.2 双压电片变形镜 | 第16-17页 |
| 1.2.3 MEMS变形镜 | 第17页 |
| 1.2.4 现有变形镜应用与高能激光系统时存在的问题 | 第17-19页 |
| 1.3 边缘驱动国内外研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第22-23页 |
| 第2章 边缘驱动变形镜像差面形生成理论分析 | 第23-38页 |
| 2.1 像差的描述 | 第23-27页 |
| 2.1.1 Zernike多项式的定义 | 第24-26页 |
| 2.1.2 利用Zernike多项式拟合实际面形[62] | 第26-27页 |
| 2.2 边缘驱动变形镜面形形变理论分析 | 第27-35页 |
| 2.2.1 圆盘形变平衡方程式 | 第27-30页 |
| 2.2.2 各力学量与面形形变位移的关系 | 第30页 |
| 2.2.3 特定面形形变边缘加载力矩大小计算 | 第30-35页 |
| 2.3 变形镜面形影响函数 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 四臂边缘驱动变形镜优化设计 | 第38-62页 |
| 3.1 边缘驱动变形镜理论分析简化 | 第38-45页 |
| 3.1.1 12臂边缘驱动变形镜生成离焦的载荷大小计算 | 第38-41页 |
| 3.1.2 12臂边缘驱动变形镜生成像散的载荷大小计算 | 第41-42页 |
| 3.1.3 12臂边缘驱动变形镜载荷分析与初步简化方案 | 第42-45页 |
| 3.2 四臂边缘驱动变形镜结构优化 | 第45-53页 |
| 3.2.1 驱动臂结构优化 | 第46-48页 |
| 3.2.2 加入细脖结构 | 第48-49页 |
| 3.2.3 其他结构优化 | 第49-53页 |
| 3.3 四臂边缘驱动变形镜结构参数优化 | 第53-58页 |
| 3.3.1 镜面厚度及材料优化 | 第53-55页 |
| 3.3.2 镜框厚度优化 | 第55-56页 |
| 3.3.3 驱动臂厚度优化 | 第56-58页 |
| 3.4 变形镜整体结构完善 | 第58-60页 |
| 3.4.1 压电陶瓷驱动器选型 | 第58-59页 |
| 3.4.2 其余结构设计与整体结构 | 第59-60页 |
| 3.5 变形镜影响函数仿真 | 第60-61页 |
| 3.6 本章总结 | 第61-62页 |
| 第4章 四臂边缘驱动变形镜制作与测试 | 第62-74页 |
| 4.1 主要加工工艺 | 第62-63页 |
| 4.2 镜面粘接工艺 | 第63-65页 |
| 4.3 变形镜形变能力测试 | 第65-72页 |
| 4.3.1 测试方法 | 第65-66页 |
| 4.3.2 镜面初始面形测量 | 第66页 |
| 4.3.3 变形镜影响函数测量及其标定 | 第66-68页 |
| 4.3.4 变形镜像差面形生成能力测试 | 第68-72页 |
| 4.4 本章总结 | 第72-74页 |
| 第5章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 5.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 5.2 主要创新点 | 第75页 |
| 5.3 工作展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第82页 |
