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MEMS微推进器的设计制造与测试

摘要第11-13页
ABSTRACT第13-14页
第一章 绪论第15-22页
    1.1 课题研究背景及意义第15-16页
    1.2 国内外研究现状第16-20页
        1.2.1 微型化学微推进器第16-18页
        1.2.2 微型电推进器第18-19页
        1.2.3 微型冷气推进器第19-20页
    1.3 论文研究工作第20-22页
第二章 推进器建模及参数估算第22-30页
    2.1 基于密度比冲的冷气推进剂比较与选择第22-23页
    2.2 基于理想等熵流动假设的微推进器参数估计第23-26页
    2.3 多物理场耦合模型建立第26-29页
        2.3.1 流体力学场第26页
        2.3.2 固体力学场第26-27页
        2.3.3 固体传热场第27-28页
        2.3.4 薄层电流场第28页
        2.3.5 多物理场耦合第28-29页
    2.4 本章小结第29-30页
第三章 微推进器多场耦合仿真分析及优化设计第30-52页
    3.1 二维微喷嘴参数仿真分析与优化第30-42页
        3.1.1 二维微喷嘴粘热耦合场模型仿真验证第30-35页
        3.1.2 二维微喷嘴单因素分析第35-38页
        3.1.3 二维微喷嘴优化设计第38-42页
    3.2 推力室薄膜加热丝仿真分析与优化第42-51页
        3.2.1 薄膜加热丝多场耦合模型仿真验证第42-43页
        3.2.2 薄膜加热丝加热影响因素分析第43-48页
        3.2.3 薄膜加热丝优化设计第48-51页
    3.3 本章小结第51-52页
第四章 MEMS微推进器制造方案设计与加工第52-63页
    4.1 MEMS微推进器制造方案设计第52-53页
    4.2 MEMS微推进器加工及工艺分析第53-62页
    4.3 本章小结第62-63页
第五章 MEMS微推进器推力试验与薄膜加热丝性能测试第63-80页
    5.1 微推进器供给测试系统搭建第63-69页
        5.1.1 微推进器与供给系统连接第63-66页
        5.1.2 推进剂供给与实时检测系统第66-68页
        5.1.3 供给系统数据实时采集及显示系统第68-69页
    5.2 基于C型管扭摆结构的微推力测量系统原理与试验第69-75页
        5.2.1 C型管扭摆结构、组成及测量原理第69-71页
        5.2.2 测量系统标定第71-73页
        5.2.3 微推进器结构参数推力测试正交试验第73-75页
    5.3 基于红外热像仪的薄膜加热丝性能测量系统原理与试验第75-79页
        5.3.1 红外热像仪测量系统原理第75-77页
        5.3.2 薄膜加热丝红外热成像试验第77-79页
    5.4 本章小结第79-80页
第六章 MEMS微推进器试验结果处理与分析第80-99页
    6.1 微推进器微推力测量正交试验结果处理与分析第80-88页
        6.1.1 基于平滑滤波和特征提取的数据处理算法设计与标定结果第80-84页
        6.1.2 MEMS微推进器结构参数正交分析与推力影响因素分析第84-88页
    6.2 薄膜加热丝性能测试试验结果处理与分析第88-97页
        6.2.1 基于高斯降噪与时域Kalman滤波的数据处理算法设计第88-94页
        6.2.2 薄膜加热丝性能测试结果分析第94-97页
    6.3 本章小结第97-99页
第七章 总结与展望第99-103页
    7.1 主要工作与结论第99-101页
    7.2 主要创新点第101页
    7.3 研究展望第101-103页
致谢第103-105页
参考文献第105-109页
作者在学期间取得的学术成果第109页

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