| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 紫外辐射简介 | 第11-12页 |
| 1.2 固态紫外光电探测器 | 第12-19页 |
| 1.2.1 紫外光电探测器分类及特点 | 第12-13页 |
| 1.2.2 固态紫外光电探测器的主要类型 | 第13-18页 |
| 1.2.3 固态紫外光电探测器的材料发展 | 第18-19页 |
| 1.3 氧化镓薄膜材料简介 | 第19-24页 |
| 1.3.1 氧化镓的基本结构与性质 | 第19-21页 |
| 1.3.2 氧化镓薄膜日盲紫外探测器的研究进展 | 第21-24页 |
| 1.4 表面等离激元简介 | 第24-25页 |
| 1.5 本文选题依据及研究范围 | 第25-27页 |
| 第二章 实验方法及理论基础 | 第27-38页 |
| 2.1 β-Ga_2O_3薄膜的制备方法 | 第27-29页 |
| 2.1.1 分子束外延的原理和特点 | 第27-28页 |
| 2.1.2 分子束外延生长设备 | 第28-29页 |
| 2.2 纳米球光刻技术 | 第29页 |
| 2.3 β-Ga_2O_3薄膜材料表征方法及原理 | 第29-32页 |
| 2.3.1 原子力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| 2.3.3 紫外-可见光分光光度计 | 第31-32页 |
| 2.4 β-Ga_2O_3基MSM型日盲紫外探测器制备工艺及测试方法 | 第32-37页 |
| 2.4.1 β-Ga_2O_3基MSM型日盲紫外探测器设计与工作原理 | 第32-33页 |
| 2.4.2 β-Ga_2O_3基MSM型日盲紫外探测器性能指标 | 第33-35页 |
| 2.4.3 β-Ga_2O_3基MSM型日盲紫外探测器测试系统 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 铝表面等离激元增强型β-Ga_2O_3日盲紫外探测器 | 第38-60页 |
| 3.1 Al-NPs/β-Ga_2O_3日盲紫外探测器的制备 | 第38-42页 |
| 3.2 快速热退火制备铝纳米粒子及其器件性能 | 第42-46页 |
| 3.3 纳米球光刻技术制备铝纳米粒子及其器件性能 | 第46-57页 |
| 3.4 Al-NPs/β-Ga_2O_3日盲紫外探测器机理探讨 | 第57-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第四章 铟表面等离激元增强型β-Ga_2O_3日盲紫外探测器 | 第60-67页 |
| 4.1 In-NPs/β-Ga_2O_3日盲紫外探测器的制备 | 第60-61页 |
| 4.2 In-NPs/β-Ga_2O_3日盲紫外探测器的器件性能 | 第61-66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 研究总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 研究总结 | 第67-68页 |
| 5.2 不足与研究展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第77页 |
