| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 研究的起源及目的 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外纳米三坐标测量机的研究现状 | 第16-20页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 多自由度测量系统的研制 | 第22-36页 |
| 2.1 多自由度测量系统总体结构 | 第22-23页 |
| 2.2 迈克尔逊干涉仪模块 | 第23-26页 |
| 2.2.1 迈克尔逊干涉仪测量原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 迈克尔逊干涉仪校正 | 第24-26页 |
| 2.3 自准直仪模块 | 第26-31页 |
| 2.3.1 自准直仪原理 | 第26-27页 |
| 2.3.2 自准直仪校正 | 第27-31页 |
| 2.4 波长补偿模块 | 第31-33页 |
| 2.4.1 波长补偿原理 | 第31-32页 |
| 2.4.2 波长补偿模块校正 | 第32-33页 |
| 2.5 自动恒功率电路 | 第33-35页 |
| 2.5.1 自动恒功率电路原理 | 第34-35页 |
| 2.5.2 自动恒功率电路校正 | 第35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 纳米三坐标测量机整体结构 | 第36-57页 |
| 3.1 共平面XY二维平台结构 | 第36-39页 |
| 3.2 宝塔型配重式Z轴结构 | 第39-41页 |
| 3.3 超声波马达HR4及AB2驱动器 | 第41-43页 |
| 3.4 线性衍射光栅干涉仪LDGI | 第43-48页 |
| 3.4.1 线性衍射光栅干涉仪LDGI基本原理 | 第43-45页 |
| 3.4.2 线性衍射光栅干涉仪LDGI结构设计及校正 | 第45-48页 |
| 3.5 接触扫描式探头 | 第48-52页 |
| 3.5.1 接触扫描式探头结构设计 | 第48-49页 |
| 3.5.2 接触扫描式探头校正 | 第49-52页 |
| 3.6 纳米三坐标测量机环境控制 | 第52-56页 |
| 3.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 纳米三坐标测量机误差分析及修正 | 第57-72页 |
| 4.1 整机误差分析 | 第58-60页 |
| 4.1.1 二维运动平台运动误差分析 | 第58-59页 |
| 4.1.2 纳米三坐标机整机运动误差分析 | 第59-60页 |
| 4.2 余弦误差 | 第60-61页 |
| 4.3 平面镜误差测量 | 第61-63页 |
| 4.4 镜面偏摆造成的光程差分析 | 第63页 |
| 4.5 阿贝误差 | 第63-67页 |
| 4.6 垂直度误差 | 第67-71页 |
| 4.7 本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 测量实验 | 第72-81页 |
| 5.1 纳米三坐标机稳定性测试 | 第72-73页 |
| 5.2 探头扫描模式测量 | 第73-75页 |
| 5.3 平面度测量实验 | 第75-76页 |
| 5.4 台阶高测量实验 | 第76-78页 |
| 5.5 探头震动特性研究 | 第78-80页 |
| 5.6 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 研究总结 | 第81页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第86页 |
| 1) 参加的学术交流与科研项目 | 第86页 |
| 2) 发表的学术论文 | 第86页 |
| 3) 获得的奖励 | 第86页 |