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PET核孔膜蚀刻因素影响研究

摘要第6-8页
Abstract第8-9页
1. 绪论第10-20页
    1.1 研究背景和目的第10-11页
    1.2 研究意义第11-15页
        1.2.1 核孔膜在过滤方面的作用第11-12页
        1.2.2 制备纳米线和纳米通道第12-13页
        1.2.3 核径迹防伪技术第13页
        1.2.4 利用径迹导孔制作微尺度元器件第13-14页
        1.2.5 智能膜技术的开发和应用第14-15页
        1.2.6 医用防护口罩第15页
        1.2.7 在病理分析领域的应用第15页
    1.3 国内外研究现状第15-19页
        1.3.1 辐照离子种类第16页
        1.3.2 受辐照的有机膜材第16-18页
        1.3.3 国内外近期研究成果第18-19页
    1.4 本课题主要研究的内容第19-20页
2. PET 核孔膜制备的理论基础第20-33页
    2.1 HI-13 串列静电加速器及辐照装置介绍第20-23页
        2.1.1 静电加速器第20-21页
        2.1.2 重离子辐照装置第21-23页
        2.1.3 重离子束流强度第23页
    2.2 潜径迹形成原理第23-26页
        2.2.1 离子能量损失的过程第23-25页
        2.2.2 潜径迹形成过程第25页
        2.2.3 径迹芯和径迹晕第25-26页
    2.3 径迹形成模型解释第26-28页
        2.3.1 库伦爆炸模型第27页
        2.3.2 热峰模型第27-28页
    2.4 辐照引起的聚合物反应第28-29页
    2.5 蚀刻第29-31页
        2.5.1 蚀刻过程中电流变化理论推导第29-31页
    2.6 核孔膜观测方法第31-33页
        2.6.1 常规观测方法第31-32页
        2.6.2 电子扫描电镜第32页
        2.6.3 原子力显微镜第32-33页
3. 孔型生长理论模型第33-39页
    3.1 蚀刻初始阶段形成锥形微孔第33-35页
    3.2 微孔由锥形变为椭球面型第35-36页
    3.3 倾斜微孔的形成过程第36-39页
4. 实验第39-50页
    4.1 膜材料的介绍第39页
    4.2 SRIM 软件计算重离子的能损和射程第39-41页
    4.3 加速器辐照第41-43页
    4.4 紫外光敏化第43页
    4.5 蚀刻第43-48页
        4.5.1 电导法监测微孔生长过程第43-44页
        4.5.2 蚀刻方案选择第44-47页
        4.5.3 径迹蚀刻速率测量方法第47-48页
        4.5.4 称重法测量体蚀刻速率 V_b第48页
    4.6 表面形貌观测第48-49页
    4.7 剖面制备第49-50页
5 实验结果第50-69页
    5.1 温度对体蚀刻速率的影响第50-51页
    5.2 浓度对体蚀刻速率 V_b的影响第51-53页
    5.3 温度对径迹蚀刻速率 V_t的影响第53-54页
    5.4 浓度对径迹蚀刻速率 V_t的影响第54-56页
    5.5 入射重离子能量对径迹蚀刻速率 V_t的影响第56-57页
    5.6 核孔膜表面的电镜观察结果第57-62页
        5.6.1 未蚀刻薄膜电镜观察第58页
        5.6.2 锥形微孔电镜观察第58-60页
        5.6.3 柱形微孔电镜观察第60-61页
        5.6.4 椭球面型微孔电镜观察第61-62页
    5.7 剖面观察结果第62-65页
    5.8 理论模型与实验结果对比第65-69页
        5.8.1 锥形、圆柱形微孔生长过程对比第65-66页
        5.8.2 椭球面型微孔生长过程对比第66-69页
6 结论第69-71页
7 展望第71-72页
致谢第72-73页
攻读硕士期间发表的论文第73页
参考文献第73-77页

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