摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
目录 | 第7-9页 |
1 绪论 | 第9-19页 |
1.1 课题来源与意义 | 第9-10页 |
1.1.1 课题来源 | 第9页 |
1.1.2 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
1.2 激光共振吸收机制及其应用 | 第10-18页 |
1.2.1 共振能量吸收机制 | 第10-14页 |
1.2.2 激光共振加工的应用 | 第14-18页 |
1.3 论文主要研究内容与章节安排 | 第18-19页 |
2 飞秒激光共振烧蚀Pr-Nd玻璃的物理机制 | 第19-29页 |
2.1 Pr-Nd玻璃的共振吸收特性 | 第19-22页 |
2.1.1 镧系元素(Pr-Nd)的电子层结构与能级 | 第19-21页 |
2.1.2 Pr-Nd玻璃的吸收光谱 | 第21-22页 |
2.2 飞秒激光烧蚀Pr-Nd玻璃的非线性作用过程 | 第22-26页 |
2.2.1 多光子共振吸收 | 第23-25页 |
2.2.2 雪崩电离 | 第25-26页 |
2.2.3 等离子体能量吸收 | 第26页 |
2.3 Pr-Nd玻璃的损伤 | 第26-27页 |
2.4 本章小结 | 第27-29页 |
3 飞秒激光烧蚀加工系统的设计与控制 | 第29-41页 |
3.1 飞秒激光烧蚀加工光路的搭建及光束质量检测 | 第29-34页 |
3.1.1 烧蚀加工激光光路的搭建 | 第29-31页 |
3.1.2 飞秒激光的光束质量检测 | 第31-34页 |
3.2 飞秒激光烧蚀加工系统的控制 | 第34-39页 |
3.2.1 激光光束开关控制的电路设计 | 第34-37页 |
3.2.2 烧蚀加工系统的控制编程 | 第37-39页 |
3.3 本章小结 | 第39-41页 |
4 飞秒激光加工Pr-Nd玻璃的共振烧蚀阈值分析与实验研究 | 第41-51页 |
4.1 束腰半径的实验测量 | 第41-44页 |
4.2 烧蚀阈值的理论分析 | 第44-45页 |
4.3 Pr-Nd玻璃共振烧蚀阈值的实验研究 | 第45-49页 |
4.3.1 不同波长飞秒激光烧蚀Pr-Nd玻璃的实验加工 | 第45-47页 |
4.3.2 共振吸收对烧蚀阈值影响的实验研究 | 第47-48页 |
4.3.3 共振多光子电离对烧蚀阈值的影响分析 | 第48-49页 |
4.4 本章小结 | 第49-51页 |
5 飞秒激光重复频率对Pr-Nd玻璃共振烧蚀效应的影响的实验研究 | 第51-62页 |
5.1 80MHz飞秒激光共振烧蚀Pr-Nd玻璃的实验研究 | 第51-56页 |
5.1.1 80MHz飞秒激光共振烧蚀Pr-Nd玻璃的热效应实验研究 | 第51-54页 |
5.1.2 80MHz飞秒激光共振烧蚀Pr-Nd玻璃熔融阈值的实验研究 | 第54-56页 |
5.2 1kHz飞秒激光加工Pr-Nd玻璃的共振烧蚀效率的实验研究 | 第56-61页 |
5.2.1 飞秒激光单脉冲烧蚀加工的实验条件分析 | 第56-57页 |
5.2.2 共振吸收对烧蚀效率影响的实验研究 | 第57-59页 |
5.2.3 多光子共振电离对烧蚀效率的影响分析 | 第59-61页 |
5.3 本章小结 | 第61-62页 |
6 总结与展望 | 第62-65页 |
6.1 全文总结 | 第62-64页 |
6.2 研究展望 | 第64-65页 |
参考文献 | 第65-70页 |
附录1:三维运动平台控制软件的程序代码 | 第70-80页 |
附录2:绘制靶材烧蚀阈值包络线的程序代码 | 第80-83页 |
攻读学位期间主要的研究成果 | 第83-84页 |
致谢 | 第84页 |