| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 符号与标记 | 第11-12页 |
| 目录 | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 课题研究背景概要 | 第14-15页 |
| 1.2 低温技术在惯性约束聚变中的应用现状 | 第15-19页 |
| 1.3 硅冷却臂的热物理性质 | 第19-22页 |
| 1.4 低温控温研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4.1 低温温度控制的实现 | 第22-23页 |
| 1.4.2 低温控温研究现状 | 第23页 |
| 1.5 本课题的目的、意义和主要的研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 硅冷却臂液氢温区控温及热传导特性实验系统 | 第25-35页 |
| 2.1 实验系统设计 | 第25-29页 |
| 2.1.1 研究对象 | 第25-26页 |
| 2.1.2 实验系统介绍 | 第26-29页 |
| 2.2 数据采集系统 | 第29-34页 |
| 2.2.1 温度传感器和加热器 | 第29-30页 |
| 2.2.2 数据采集系统 | 第30-32页 |
| 2.2.3 基于 LabVIEW 的数据采集控制程序 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 低温温度计标定实验及结果分析 | 第35-44页 |
| 3.1 温度计标定方法介绍 | 第35-36页 |
| 3.2 标定实验系统改造 | 第36-38页 |
| 3.2.1 蓄热器及紫铜等温块 | 第36-37页 |
| 3.2.2 温度计布置 | 第37-38页 |
| 3.3 标定结果分析 | 第38-43页 |
| 3.3.1 各温度计特性曲线的拟合 | 第38-39页 |
| 3.3.2 待标温度计标定残差分析 | 第39-41页 |
| 3.3.3 动态标定引起的标定误差分析 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 液氢温区控温实验及结果分析 | 第44-54页 |
| 4.1 实验目的 | 第44页 |
| 4.2 实验方案及设置 | 第44-46页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第46-50页 |
| 4.4 理论分析 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 硅片实验及结果分析 | 第54-67页 |
| 5.1 传统方法下硅片的实验及结果分析 | 第54-57页 |
| 5.1.1 不同纯度硅片样品的实验对比 | 第54-55页 |
| 5.1.2 硅片多测点实验 | 第55-57页 |
| 5.2 硅片上集成微型温度传感器和加热器的实验研究 | 第57-66页 |
| 5.2.1 实验一 | 第59-61页 |
| 5.2.2 实验二 | 第61-63页 |
| 5.2.3 实验三 | 第63-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第67-68页 |
| 6.2 研究展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读学位期间的学术成果 | 第74页 |