| 论文摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 目录 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·ITO薄膜的研究现状 | 第14-15页 |
| ·ITO薄膜的制备技术 | 第15-21页 |
| ·薄膜特性的表征方法 | 第21-25页 |
| ·本论文研究目的和意义 | 第25-28页 |
| 第二章 sol-gel法制备ITO薄膜样品 | 第28-48页 |
| ·制备流程 | 第28-31页 |
| ·结构与性能测试 | 第31-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-45页 |
| ·ITO薄膜的电学特性分析 | 第45-46页 |
| ·ITO薄膜的光学特性 | 第46-48页 |
| 第三章 不同退火氛围下的ITO薄膜 | 第48-54页 |
| ·实验 | 第48-49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-52页 |
| ·本章总结 | 第52-54页 |
| 第四章 氩等离子体退火法制备ITO薄膜 | 第54-62页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·实验 | 第54-56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 硕士论文期间发表文章 | 第69-70页 |