| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 选题背景 | 第11-12页 |
| 1.2 选题意义 | 第12-13页 |
| 1.3 研究现状 | 第13页 |
| 1.4 研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 TOF-SIMS 仪器控制软件总体设计 | 第15-23页 |
| 2.1 需求分析 | 第15-18页 |
| 2.1.1 TOF-SIMS 仪器原理 | 第15-16页 |
| 2.1.2 仪器控制对象的统计 | 第16-17页 |
| 2.1.3 TOF-SIMS 控制软件开发环境和应用环境介绍 | 第17页 |
| 2.1.4 TOF-SIMS 控制软件的用例描述 | 第17-18页 |
| 2.2 总体设计 | 第18-21页 |
| 2.2.1 TOF-SIMS 控制系统的硬件连接 | 第18-20页 |
| 2.2.2 TOF-SIMS 控制软件的总体设计 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 TOF-SIMS 仪器本地控制软件开发 | 第23-47页 |
| 3.1 通信协议函数的封装和文件系统的设计 | 第23-27页 |
| 3.1.1 仪器通信协议的函数封装 | 第23-25页 |
| 3.1.2 文件系统的设计 | 第25-27页 |
| 3.2 智能真空系统的开发 | 第27-32页 |
| 3.2.1 机械泵的计算机控制 | 第27-28页 |
| 3.2.2 分子泵的计算机控制 | 第28-29页 |
| 3.2.3 真空规示数读取和阀门开关控制 | 第29-30页 |
| 3.2.4 TOF-SIMS 仪器的智能真空控制软件开发 | 第30-32页 |
| 3.3 离子流控制软件的开发 | 第32-36页 |
| 3.3.1 高压电源控制程序开发 | 第32-34页 |
| 3.3.2 TOF-SIMS 一次离子流控制软件开发 | 第34-36页 |
| 3.4 离子流检测软件的开发 | 第36-39页 |
| 3.4.1 离子流电流大小检测软件 | 第36-37页 |
| 3.4.2 离子流束斑大小检测软件 | 第37-39页 |
| 3.5 三维样品台运动控制软件的开发 | 第39-43页 |
| 3.5.1 电机驱动模块的命令封装 | 第40-41页 |
| 3.5.2 三维样品台控制软件开发 | 第41-43页 |
| 3.6 顶层软件的设计与开发 | 第43-44页 |
| 3.6.1 系统初始化自检程序 | 第43页 |
| 3.6.2 顶层软件开发 | 第43-44页 |
| 3.7 本章总结与软件功能测试 | 第44-47页 |
| 第4章 TOF-SIMS 仪器远程控制软件开发 | 第47-57页 |
| 4.1 控制方案设计 | 第47-50页 |
| 4.1.1 仪器远程共享现状及现有控制方案介绍 | 第47-48页 |
| 4.1.2 仪器远程控制方案设计 | 第48-49页 |
| 4.1.3 通信协议和命令格式 | 第49-50页 |
| 4.2 服务器端软件开发 | 第50-53页 |
| 4.2.1 总体设计 | 第50-52页 |
| 4.2.2 功能实现 | 第52-53页 |
| 4.3 客户端软件开发 | 第53-55页 |
| 4.3.1 总体设计 | 第53-54页 |
| 4.3.2 功能实现 | 第54-55页 |
| 4.4 本章总结与软件功能测试 | 第55-57页 |
| 第5章 基于图像配准技术的样品台误差自校正系统的研究 | 第57-73页 |
| 5.1 基于机器视觉的样品台误差自校正系统的设计 | 第57-59页 |
| 5.2 图像配准方法的对比与选择 | 第59-63页 |
| 5.2.1 基于特征的图像配准 | 第59-60页 |
| 5.2.2 Harris 角点特征检测 | 第60-61页 |
| 5.2.3 FAST 特征检测 | 第61页 |
| 5.2.4 SIFT 特征点检测 | 第61-63页 |
| 5.3 SIFT 图像配准算法 | 第63-65页 |
| 5.3.1 SIFT 算法特征点的尺度空间检测 | 第63-64页 |
| 5.3.2 SIFT 算法特征点的描述 | 第64页 |
| 5.3.3 SIFT 算法特征向量的匹配 | 第64-65页 |
| 5.4 SIFT 算法的改进 | 第65-68页 |
| 5.4.1 LBP(局部二进制模式)算子 | 第65-67页 |
| 5.4.2 SIFT 特征点的 LBP 算子描述 | 第67-68页 |
| 5.4.3 特征向量的主成分分析方法降维 | 第68页 |
| 5.5 实验结果与分析 | 第68-71页 |
| 5.5.1 算法配准效果的对比 | 第69-71页 |
| 5.5.2 算法速度的对比 | 第71页 |
| 5.6 本章小结 | 第71-73页 |
| 第6章 全文总结 | 第73-75页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第73页 |
| 6.2 本文的创新点 | 第73-74页 |
| 6.3 存在的不足及下一步工作 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 作者简介 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
