| 中文摘要 | 第10-14页 |
| ABSTRACT | 第14-17页 |
| 符号说明 | 第18-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-33页 |
| 1.1 单晶铌酸锂薄膜 | 第19-24页 |
| 1.2 光纤与单晶铌酸锂薄膜器件的耦合 | 第24-26页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-33页 |
| 第二章 光栅耦合的基本理论、算法和实验技术 | 第33-57页 |
| 2.1 光栅耦合的原理 | 第34-39页 |
| 2.2 时域有限差分算法 | 第39-44页 |
| 2.3 棱镜耦合技术 | 第44-46页 |
| 2.4 波导光栅耦合测试系统 | 第46-48页 |
| 2.5 聚焦离子束刻蚀技术 | 第48-51页 |
| 2.6 光刻掩膜和剥离技术 | 第51-53页 |
| 2.7 磁控溅射技术 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 第三章 单晶铌酸锂薄膜上均匀光栅耦合器研究 | 第57-73页 |
| 3.1 单晶铌酸锂薄膜上均匀光栅耦合器的设计与优化 | 第58-67页 |
| 3.2 单晶铌酸锂薄膜上均匀光栅的制备与性能研究 | 第67-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第四章 含金属反射层的单晶铌酸锂薄膜上光栅耦合器研究 | 第73-89页 |
| 4.1 含金属反射层的单晶铌酸锂薄膜上光栅耦合器的设计与优化 | 第74-83页 |
| 4.2 含金属反射层的单晶铌酸锂薄膜上光栅的制备与性能研究 | 第83-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 第五章 单晶铌酸锂薄膜上非均匀光栅耦合器研究 | 第89-105页 |
| 5.1 单晶铌酸锂薄膜上非均匀光栅耦合器的设计与优化 | 第90-98页 |
| 5.2 单晶铌酸锂薄膜上非均匀光栅的制备与性能研究 | 第98-103页 |
| 参考文献 | 第103-105页 |
| 第六章 单晶铌酸锂上硅光栅耦合器研究 | 第105-123页 |
| 6.1 单晶铌酸锂薄膜上硅加载条光栅耦合器的设计与优化 | 第106-111页 |
| 6.2 单晶铌酸锂薄膜上硅加载条光栅的制备与性能研究 | 第111-116页 |
| 6.3 单晶铌酸锂薄膜上硅加载区光栅耦合器的设计与优化 | 第116-121页 |
| 参考文献 | 第121-123页 |
| 第七章 总结 | 第123-127页 |
| 7.1 研究工作总结 | 第124-126页 |
| 7.2 主要创新点 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励 | 第128-129页 |
| 附外文论文(两篇) | 第129-139页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第139页 |
