| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1. IGBT的发展及现状 | 第10-12页 |
| 1.2. 续流二极管的发展及现状 | 第12-15页 |
| 1.3. 逆导型IGBT的发展概述 | 第15-19页 |
| 1.4. 本论文主要内容 | 第19-21页 |
| 2. 逆导型IGBT的特性及分析 | 第21-40页 |
| 2.1. 逆导型IGBT结构 | 第21-22页 |
| 2.2. 逆导型IGBT静态特性分析 | 第22-27页 |
| 2.2.1. 转移特性 | 第22-23页 |
| 2.2.2. 阻断特性 | 第23-24页 |
| 2.2.3. 导通特性 | 第24-27页 |
| 2.3. 逆导型IGBT电压折回现象分析及消除条件 | 第27-31页 |
| 2.3.1. 电压折回现象产生的原因 | 第27-30页 |
| 2.3.2. 消除电压折回的条件 | 第30-31页 |
| 2.4. 关键结构参数对导通特性的影响分析 | 第31-35页 |
| 2.4.1. FS层掺杂浓度 | 第31-32页 |
| 2.4.2. P+集电极宽度 | 第32-34页 |
| 2.4.3. N+短路区宽度 | 第34-35页 |
| 2.5. 逆导型IGBT动态特性分析 | 第35-38页 |
| 2.5.1. 开关特性 | 第35-37页 |
| 2.5.2. 反向恢复特性 | 第37-38页 |
| 2.6. 本章小结 | 第38-40页 |
| 3. 浮场阻止型RC-IGBT | 第40-51页 |
| 3.1. 浮场阻止型RC-IGBT结构 | 第40-41页 |
| 3.2. 浮场阻止型RC-IGBT的静态特性 | 第41-46页 |
| 3.2.1. 转移特性 | 第41-42页 |
| 3.2.2. 阻断特性 | 第42页 |
| 3.2.3. 导通特性 | 第42-45页 |
| 3.2.4. FFS层参数优化 | 第45-46页 |
| 3.3. 浮场阻止型RC-IGBT的动态特性 | 第46-48页 |
| 3.3.1. 开关特性 | 第46-47页 |
| 3.3.2. 反向恢复特性 | 第47-48页 |
| 3.4. 浮场阻止型RC-IGBT的工艺仿真与分析 | 第48-50页 |
| 3.5. 本章小结 | 第50-51页 |
| 4. 集电极隔离型RC-IGBT | 第51-61页 |
| 4.1. 集电极隔离型RC-IGBT结构参数 | 第51-52页 |
| 4.2. 集电极隔离型RC-IGBT的静态特性 | 第52-56页 |
| 4.2.1. 转移特性 | 第52-53页 |
| 4.2.2. 阻断特性 | 第53页 |
| 4.2.3. 导通特性 | 第53-55页 |
| 4.2.4. 隔离槽和P阻止层参数优化 | 第55-56页 |
| 4.3. 集电极隔离型RC-IGBT的动态特性 | 第56-58页 |
| 4.3.1. 开关特性 | 第56-57页 |
| 4.3.2. 反向恢复特性 | 第57-58页 |
| 4.4. 集电极隔离型RC-IGBT的工艺仿真与分析 | 第58-59页 |
| 4.5. 本章小结 | 第59-61页 |
| 5. 快速软恢复续流二极管的新结构 | 第61-80页 |
| 5.1. 结构分析 | 第61-65页 |
| 5.1.1. 阳极区分析 | 第61-63页 |
| 5.1.2. 阴极区分析 | 第63-65页 |
| 5.2. 非对称阳极及阴极抽取型二极管 | 第65-75页 |
| 5.2.1. 反向恢复特性分析 | 第66-70页 |
| 5.2.2. 正向导通特性分析 | 第70-73页 |
| 5.2.3. 击穿特性分析 | 第73-75页 |
| 5.3. 非对称阳极及阴极抽取型二极管的工艺设计 | 第75-78页 |
| 5.3.1. 工艺仿真及流程 | 第75-77页 |
| 5.3.2. 结深及杂质分布 | 第77-78页 |
| 5.4. 版图设计 | 第78页 |
| 5.5. 本章小结 | 第78-80页 |
| 6. 非对称阳极及阴极抽取型二极管的流片验证 | 第80-92页 |
| 6.1. 工艺流片与结果分析 | 第80-81页 |
| 6.2. 二极管参数测试 | 第81-86页 |
| 6.2.1. 正向导通压降测试 | 第81-83页 |
| 6.2.2. 反向击穿电压测试 | 第83页 |
| 6.2.3. 反向漏电流测试 | 第83-84页 |
| 6.2.4. 反向恢复特性测试 | 第84-86页 |
| 6.3. 模块测试 | 第86-91页 |
| 6.3.1. 双脉冲测试原理 | 第86-87页 |
| 6.3.2. 关断过程 | 第87-89页 |
| 6.3.3. 开通过程 | 第89-91页 |
| 6.4. 本章小结 | 第91-92页 |
| 7. 结论与展望 | 第92-95页 |
| 7.1. 主要结论 | 第92-93页 |
| 7.2. 论文创新点 | 第93-94页 |
| 7.3. 展望 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-108页 |
| 攻读博士学位期间成果 | 第108页 |
