| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MEMS概述 | 第7-9页 |
| ·概述 | 第7-9页 |
| ·MEMS应用领域 | 第9页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第9-12页 |
| ·MEMS加速度传感器分类 | 第10-11页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器 | 第11页 |
| ·国内外研究发展现况[21-22] | 第11-12页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器检测电路 | 第12-13页 |
| ·本论文研究的重要意义以及主要内容 | 第13-15页 |
| ·论文研究意义 | 第13页 |
| ·论文主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·论文内容安排 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS电容式加速度传感器测控原理研究分析 | 第15-25页 |
| ·MEMS电容式加速度计原理 | 第15-19页 |
| ·变面积MEMS电容式加速度计原理 | 第15-17页 |
| ·变间隙MEMS电容式加速度计原理 | 第17-19页 |
| ·MEMS电容式加速度计弱信号检测系统[32] | 第19-20页 |
| ·MEMS弱信号检测电路基本要求及实现方案 | 第20-23页 |
| ·弱信号检测电路基本要求 | 第20页 |
| ·微小电容信号检测方法 | 第20-23页 |
| ·小结 | 第23-25页 |
| 第三章 闭环检测系统设计及其电路设计 | 第25-53页 |
| ·闭环检测系统原理设计 | 第25-27页 |
| ·静电力反馈机制分析设计 | 第27-30页 |
| ·平板电容静电力原理 | 第27-28页 |
| ·静电力反馈分析 | 第28-30页 |
| ·反馈电压设计 | 第30页 |
| ·电路模块设计 | 第30-49页 |
| ·前置放大器设计 | 第30-34页 |
| ·滤波电路设计 | 第34-36页 |
| ·同相比例运算电路设计 | 第36-37页 |
| ·运算放大器设计 | 第37-41页 |
| ·带隙基准设计 | 第41-44页 |
| ·时钟振荡器设计 | 第44-46页 |
| ·数字控制电路设计 | 第46-49页 |
| ·电路系统功能仿真验证 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第四章 噪声分析及噪声抑制 | 第53-61页 |
| ·MEMS机械噪声及其抑制 | 第53-54页 |
| ·检测电路噪声及其抑制 | 第54-60页 |
| ·热噪声 | 第54-55页 |
| ·闪烁噪声 | 第55页 |
| ·KT/C噪声 | 第55-56页 |
| ·开关噪声 | 第56-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 检测电路版图设计 | 第61-71页 |
| ·CMOS工艺流程和版图层次 | 第61页 |
| ·元器件结构及版图设计 | 第61-66页 |
| ·设计规则 | 第61-62页 |
| ·元器件结构和版图设计 | 第62-66页 |
| ·整体版图设计 | 第66-68页 |
| ·布局 | 第66-67页 |
| ·布线 | 第67页 |
| ·技术难点以及解决措施 | 第67-68页 |
| ·物理验证 | 第68-69页 |
| ·DRC验证 | 第68-69页 |
| ·LVS验证 | 第69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 第六章 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·论文总结 | 第71-72页 |
| ·设计展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 研究成果 | 第79-80页 |